[实用新型]一种弹片式电弧离子镀引弧装置有效
| 申请号： | 201822034627.5 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN209323002U | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 郎文昌;刘俊红;杜昊 | 申请（专利权）人： | 苏州艾钛科纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 薛峰;康正德 |
| 地址： | 215010 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种弹片式电弧离子镀引弧装置，涉及电弧离子镀技术领域。其包括：引弧杆和电极触片；所述引弧杆密封穿过电弧离子镀设备的外壳本体，所述引弧杆的一端部伸入电弧离子镀设备的腔室内，另一端部安装有驱动所述引弧杆沿轴向往返运动的驱动装置；所述引弧杆和所述驱动装置上连接有根据所述引弧杆沿轴向往返运动而使所述引弧杆的电流闭合/断开的电极触片。本实用新型提供了一种弹片式电弧离子镀引弧装置，用于使引弧针在与阴极靶接触时通电以瞬间短路放电，并在放电后断开电流同时实现引弧针与阴极靶的远离，从而避免引弧针的老化，增加引弧针的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 引弧杆 引弧针 电弧离子镀 引弧装置 弹片式 电弧离子镀设备 轴向往返运动 本实用新型 电极触片 驱动装置 阴极靶 放电 电弧离子镀技术 闭合 断开电流 使用寿命 外壳本体 短路 断开 伸入 密封 通电 穿过 老化 室内 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种弹片式电弧离子镀引弧装置，其特征在于，包括引弧杆，所述引弧杆穿过电弧离子镀设备的外壳本体并与所述外壳本体形成密封，所述引弧杆的一端部伸入所述电弧离子镀设备的腔室内，另一端部安装有用于驱动所述引弧杆沿其轴向往返运动的驱动装置；所述引弧杆和所述驱动装置上连接有随所述引弧杆沿其轴向的往返运动而使所述引弧杆的电流闭合/断开的电极触片。
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