[实用新型]一种弹片式电弧离子镀引弧装置有效
申请号: | 201822034627.5 | 申请日: | 2018-12-05 |
公开(公告)号: | CN209323002U | 公开(公告)日: | 2019-08-30 |
发明(设计)人: | 郎文昌;刘俊红;杜昊 | 申请(专利权)人: | 苏州艾钛科纳米科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32 |
代理公司: | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人: | 薛峰;康正德 |
地址: | 215010 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 引弧杆 引弧针 电弧离子镀 引弧装置 弹片式 电弧离子镀设备 轴向往返运动 本实用新型 电极触片 驱动装置 阴极靶 放电 电弧离子镀技术 闭合 断开电流 使用寿命 外壳本体 短路 断开 伸入 密封 通电 穿过 老化 室内 驱动 | ||
1.一种弹片式电弧离子镀引弧装置,其特征在于,包括引弧杆,所述引弧杆穿过电弧离子镀设备的外壳本体并与所述外壳本体形成密封,所述引弧杆的一端部伸入所述电弧离子镀设备的腔室内,另一端部安装有用于驱动所述引弧杆沿其轴向往返运动的驱动装置;所述引弧杆和所述驱动装置上连接有随所述引弧杆沿其轴向的往返运动而使所述引弧杆的电流闭合/断开的电极触片。
2.根据权利要求1所述的弹片式电弧离子镀引弧装置,其特征在于,所述电极触片包括第一电极触片和第二电极触片,所述第一电极触片安装于所述驱动装置上,所述第一电极触片与所述驱动装置件绝缘;所述第二电极触片与所述引弧杆电接触。
3.根据权利要求2所述的弹片式电弧离子镀引弧装置,其特征在于,所述电极触片为铜片、铝片及以铜铝为基材进行镀银、镀金、表面石墨化处理表面的片状电极中的任意一种。
4.根据权利要求2所述的弹片式电弧离子镀引弧装置,其特征在于,所述第一电极触片为“L”形,所述第二电极触片为长方形。
5.根据权利要求1所述的弹片式电弧离子镀引弧装置,其特征在于,所述引弧杆上安装有波纹管组件、外套筒和驱动支架;
所述波纹管组件套设在所述引弧杆上,所述波纹管组件包括第一端、波纹管、压筒和第二端,所述第一端与所述引弧杆焊接密封;
所述外套筒套设在所述波纹管组件上,所述外套筒一端通过压板和紧固件固定与所述压筒连接,另一端套设于所述引弧杆;
所述驱动支架固定安装于所述第二端。
6.根据权利要求5所述的弹片式电弧离子镀引弧装置,其特征在于,所述引弧杆上套设压盖,所述外套筒的另一端通过压板及紧固件与所述压盖连接。
7.根据权利要求5所述的弹片式电弧离子镀引弧装置,其特征在于,所述波纹管为不锈钢材质。
8.根据权利要求5所述的弹片式电弧离子镀引弧装置,其特征在于,所述第一端与所述引弧杆通过激光焊接。
9.根据权利要求1所述的弹片式电弧离子镀引弧装置,其特征在于,所述引弧杆伸入电弧离子镀设备的腔室内一端安装有引弧针。
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