[实用新型]一种弹片式电弧离子镀引弧装置

说明书

本实用新型提供了一种弹片式电弧离子镀引弧装置，涉及电弧离子镀技术领域。其包括：引弧杆和电极触片；所述引弧杆密封穿过电弧离子镀设备的外壳本体，所述引弧杆的一端部伸入电弧离子镀设备的腔室内，另一端部安装有驱动所述引弧杆沿轴向往返运动的驱动装置；所述引弧杆和所述驱动装置上连接有根据所述引弧杆沿轴向往返运动而使所述引弧杆的电流闭合/断开的电极触片。本实用新型提供了一种弹片式电弧离子镀引弧装置，用于使引弧针在与阴极靶接触时通电以瞬间短路放电，并在放电后断开电流同时实现引弧针与阴极靶的远离，从而避免引弧针的老化，增加引弧针的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及电弧离子镀技术领域，特别是涉及一种弹片式电弧离子镀引弧装置。

背景技术

多弧离子镀膜技术是在真空条件下，通过控制电弧在靶材表面移动，来蒸发靶材金属，并在基片上施加一个高偏压，使得电弧蒸发出来的靶材粒子高速轰击在基片上，形成薄膜的过程。由于靶材表面上的电弧是一个低电压、大电流的直流电源来供给，所以本身只能维持电弧不能自发产生电弧，产生电弧的时候需要单独的引弧结构。引弧时，通过引弧针施加阳极电，靶材施加阴极电，引弧针短暂接触靶材使得阴阳极短暂短路，然后引弧针在离开靶材表面时，阴阳极电路出现击穿电弧，在通过电弧电源提供一个稳定的低电压、大电流输出，实现电弧的自我维持。

目前引弧针在引弧过程中，引弧针放置在阴极靶面前，作为接地端与阴极瞬间短路，产生大电流，从而引起弧光放电，引弧针在阴极稳定放电无任何影响，但常规的引弧针通常是通过保护电阻接地，在放电过程中，引弧针作为阳极，大量电子受电场影响，会轰击引弧针的前端，前端受热会加速引弧针材料的老化，降低实用寿命，同时部分电子从引弧针上被导出，减少了放电过程中的电子的数量，对弧光放电过程中的离化有一定的影响。而且，引弧针与真空室的密封方式是采用橡胶密封，一方面受热的引弧杆温度较高，加速橡胶密封件的老化，另一方面引弧针在前后移动的时候不可避免与橡胶摩擦，使得橡胶易于老化或者受到损伤，导致真空室漏气，严重影响镀膜质量。

现阶段对于引弧针的吸收电子受热老化主要有以下两种处理方式：1、隐藏式，通过弹力组件将引弧针引弧后隐藏，缺点结构复杂，成本高，稳定性差。2、电位悬浮，将引弧针电位悬浮，其电路上加装延时开关并配合plc控制实现引弧针的电位悬浮，缺点：成本高、大电流的延时开关使用寿命有限、plc控制设计复杂。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是要提供一种弹片式电弧离子镀引弧装置，能够及时地使电极触片交替的闭合、断开。

本实用新型的另一个目的是要提供一种弹片式电弧离子镀引弧装置，以避免引弧针老化，增加引弧针的使用寿命。

特别地，本实用新型提供了一种弹片式电弧离子镀引弧装置，包括引弧杆，所述引弧杆穿过电弧离子镀设备的外壳本体并与所述外壳本体形成密封，所述引弧杆的一端部伸入所述电弧离子镀设备的腔室内，另一端部安装有用于驱动所述引弧杆沿其轴向往返运动的驱动装置；所述引弧杆和所述驱动装置上连接有随所述引弧杆沿其轴向的往返运动而使所述引弧杆的电流闭合/断开的电极触片。

可选地，所述电极触片包括第一电极触片和第二电极触片，所述第一电极触片安装于所述驱动装置上，所述第一电极触片与所述驱动装置件绝缘；所述第二电极触片与所述引弧杆电接触。

可选地，所述电极触片为铜片、铝片及以铜铝为基材进行镀银、镀金、表面石墨化处理表面的片状电极中的任意一种。

可选地，所述第一电极触片为“L”形，所述第二电极触片为长方形。

可选地，所述引弧杆上安装有波纹管组件、外套筒和驱动支架；

所述波纹管组件套设在所述引弧杆上，所述波纹管组件包括第一端、波纹管、压筒和第二端，所述第一端与所述引弧杆焊接密封；

所述外套筒套设在所述波纹管组件上，所述外套筒一端通过压板和紧固件固定与所述压筒连接，另一端套设于所述引弧杆；