[实用新型]具有双层布拉格反射层的深紫外LED外延结构及器件有效
申请号: | 201822033175.9 | 申请日: | 2018-12-05 |
公开(公告)号: | CN209183567U | 公开(公告)日: | 2019-07-30 |
发明(设计)人: | 杜士达;张骏;戴江南;陈长清 | 申请(专利权)人: | 湖北深紫科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/10 | 分类号: | H01L33/10;H01L33/04;H01L33/00 |
代理公司: | 武汉智嘉联合知识产权代理事务所(普通合伙) 42231 | 代理人: | 黄君军 |
地址: | 436000 湖北省鄂州市梧桐湖新区凤凰*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种具有双层布拉格反射层的深紫外LED外延结构及器件,包括衬底;位于所述衬底上的半导体外延层,包括AlN层、N型AlGaN层、n型布拉格反射层、电流扩展层、量子阱有源层、电子阻挡层、P型布拉格反射层、P型GaN接触层;n型布拉格反射层为AlxGa1‑xN层与GaN层交替层叠组成的周期结构;P型布拉格反射层为AlyGa1‑yN层与GaN层交替层叠组成的周期结构。本实用新型使用N型布拉格反射层的同时,使用P型布拉格反射层来代替传统的P型GaN层作为P型注入层,反射量子阱有源区向P型GaN方向的出射光,量子阱有源区发出的深紫外光从侧面出射,提高深紫外LED器件的发光效率。 | ||
搜索关键词: | 深紫外LED 布拉格反射层 量子阱有源区 本实用新型 交替层叠 外延结构 周期结构 衬底 半导体外延层 量子阱有源层 电流扩展层 电子阻挡层 发光效率 深紫外光 出射光 传统的 注入层 出射 反射 侧面 | ||
【主权项】:
1.一种具有双层布拉格反射层的深紫外LED外延结构,其特征在于,所述LED外延结构包括:衬底;位于所述衬底上的半导体外延层,包括在所述衬底上依次设置的AlN层、N型AlGaN层、N型布拉格反射层、电流扩展层、量子阱有源层、电子阻挡层、P型布拉格反射层、P型GaN接触层;所述N型布拉格反射层为AlxGa1‑xN层与GaN层交替层叠组成的周期结构;所述P型布拉格反射层为AlyGa1‑yN层与GaN层交替层叠组成的周期结构。
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