[实用新型]成膜装置有效
| 申请号： | 201822007101.8 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN209397257U | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 永田透;相泽雄树 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/52 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种即使用较大的力矩拧合支承部件也不容易造成观察窗破损的成膜装置。该成膜装置包括真空容器，所述真空容器收容成膜材料并执行成膜作业；以及观察窗，所述观察窗设于所述真空容器的壁面；所述成膜装置的特征在于，所述观察窗具有：观察板，所述观察板由透明材料形成；凸缘部；轴部，所述轴部与所述凸缘部相连，穿过所述观察板，并且设有第一螺纹；以及支承部件，所述支承部件拧合于所述第一螺纹上，从而将所述观察板夹持在所述凸缘部和所述支承部件之间，其中，在所述轴部设有台阶部，所述台阶部位于所述第一螺纹与所述观察板之间，用于在轴向上对所述支承部件进行限位。 | ||
| 搜索关键词： | 支承部件 观察板 成膜装置 观察窗 真空容器 凸缘部 螺纹 轴部 拧合 本实用新型 成膜材料 成膜作业 台阶部位 透明材料 台阶部 壁面 夹持 限位 破损 收容 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种成膜装置，包括：真空容器，所述真空容器收容成膜材料并执行成膜作业；以及观察窗，所述观察窗设于所述真空容器的壁面；所述成膜装置的特征在于，所述观察窗具有：观察板，所述观察板由透明材料形成；凸缘部；轴部，所述轴部与所述凸缘部相连，穿过所述观察板，并且设有第一螺纹；以及支承部件，所述支承部件拧合于所述第一螺纹上，从而将所述观察板夹持在所述凸缘部和所述支承部件之间，其中，在所述轴部设有台阶部，所述台阶部位于所述第一螺纹与所述观察板之间，用于在轴向上对所述支承部件进行限位。
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