[实用新型]成膜装置

说明书

本实用新型提供一种即使用较大的力矩拧合支承部件也不容易造成观察窗破损的成膜装置。该成膜装置包括真空容器，所述真空容器收容成膜材料并执行成膜作业；以及观察窗，所述观察窗设于所述真空容器的壁面；所述成膜装置的特征在于，所述观察窗具有：观察板，所述观察板由透明材料形成；凸缘部；轴部，所述轴部与所述凸缘部相连，穿过所述观察板，并且设有第一螺纹；以及支承部件，所述支承部件拧合于所述第一螺纹上，从而将所述观察板夹持在所述凸缘部和所述支承部件之间，其中，在所述轴部设有台阶部，所述台阶部位于所述第一螺纹与所述观察板之间，用于在轴向上对所述支承部件进行限位。

技术领域

本实用新型涉及一种成膜装置，尤其涉及具有观察窗且观察窗不容易破损的成膜装置。

背景技术

通常，在真空条件下进行成膜的真空成膜装置在放置被处理物的腔室的壁面具有观察窗，能够透过观察窗观察真空成膜装置的腔室内以便监视被处理物的处理状态。

为了监视腔室内而在观察窗设有由透明材料例如玻璃构成的观察板，当透明的观察板因附着有在成膜装置的腔室内部飞散的蒸镀粒子或溅射粒子而变得不透明时，监视能力下降，导致无法监视腔室内的处理状态。因此，在现有技术中，在观察板的前方设有挡板。当在腔室内进行蒸镀或溅射时，将该挡板旋转至观察板的前方以防止蒸镀粒子或溅射粒子等附着到观察板上，而在需要观察腔室内的处理状态时，停止成膜工序，旋转挡板露出观察板，使得能够透过观察窗观察到腔室内。

作为这样的具有挡板的观察窗，日本实开昭62-194758中记载了下述结构：在观察板的中心设有被真空密封的手柄，在该手柄的真空侧，以接近观察板内面的方式安装有被分割成多片的用于防止溅射的挡板叶片，通过旋转手柄，能够开闭挡板。如图1所示(图1基于日本实开昭62-194758的图1而作)，在轴承7安装有O形环8，并利用螺母9对观察板进行紧固。

但是，由图1所示可知，轴承7在A部位与观察板4直接接触，另外，螺母9在拧合到轴承7上时与观察板4的另一侧直接接触。在拧紧螺母9时，一旦使用的力矩超出观察板4所能承受的程度，则轴承7的A部位以及螺母9施加于观察板4的应力容易造成观察板4的中心孔边缘的破损。

现有技术：日本实开昭62-194758。

实用新型内容

本实用新型是为了解决上述问题而做出的，其主要目的在于提供一种即使用较大的力矩拧合支承部件也不容易造成观察窗破损的成膜装置。

本实用新型提供一种成膜装置，包括：

真空容器，所述真空容器收容成膜材料并执行成膜作业；以及

观察窗，所述观察窗设于所述真空容器的壁面；

所述成膜装置的特征在于，

所述观察窗具有：

观察板，所述观察板由透明材料形成；

凸缘部；

轴部，所述轴部与所述凸缘部相连，穿过所述观察板，并且设有第一螺纹；以及

支承部件，所述支承部件拧合于所述第一螺纹上，从而将所述观察板夹持在所述凸缘部和所述支承部件之间，

其中，在所述轴部设有台阶部，所述台阶部位于所述第一螺纹与所述观察板之间，用于在轴向上对所述支承部件进行限位。

优选的是，所述凸缘部的朝向所述观察板的一侧设有用于容纳第一密封件的环形凹槽。

优选的是，所述环形凹槽的径向内侧壁与所述轴部的外侧壁平齐。

优选的是，所述第一密封件为O型环，当所述支承部件拧合于所述第一螺纹上时，所述O形环的上下方向上的尺寸大于所述环形凹槽的深度。