[实用新型]一种多温区砷化镓合成装置

摘要

本实用新型涉及一种合成装置，尤其为一种多温区砷化镓合成装置，包括反应器外壳体、反应器内壳体、第一反应腔、第二反应腔和第三反应腔，所述反应器外壳体的底部固定安装有支撑架，所述支撑架上固定连接有安装板，所述反应器外壳体底部固定安装有三组导出器，所述反应器外壳体基面固定安装有三组观察窗口，所述反应器外壳体顶部固定安装有三组第一导入器和第二导入器，所述第一导入器、第二导入器和导出器均包括导管、活塞、推把和出进液管，所述活塞和推把通过连接杆固定连接，所述反应器外壳体的内部固定安装有反应器内壳体，本实用新型整体装置结构简单，安全系数高，方便快捷，多温区，具有一定的推广作用。

主权项

1.一种多温区砷化镓合成装置，包括反应器外壳体(1)、反应器内壳体(2)、第一反应腔(3)、第二反应腔(4)和第三反应腔(5)，其特征在于：所述反应器外壳体(1)的底部固定安装有支撑架(13)，所述支撑架(13)上固定连接有安装板(14)，所述反应器外壳体(1)底部固定安装有三组导出器(15)，所述反应器外壳体(1)基面固定安装有三组观察窗口(17)，所述反应器外壳体(1)顶部固定安装有三组第一导入器(6)和第二导入器(7)，所述第一导入器(6)、第二导入器(7)和导出器(15)均包括导管(22)、活塞(20)、推把(18)和出进液管(21)，所述活塞(20)和推把(18)通过连接杆(19)固定连接，所述反应器外壳体(1)的内部固定安装有反应器内壳体(2)，所述反应器内壳体(2)和第一导入器(6)、第二导入器(7)、导出器(15)均通过通孔(12)贯通连接，所述反应器内壳体(2)的内部从左至右依次设置有第一反应腔(3)、第二反应腔(4)和第三反应腔(5)，所述第二反应腔(4)和第一反应腔(3)、第三反应腔(5)均通过隔层(16)固定连接，所述第一反应腔(3)、第二反应腔(4)和第三反应腔(5)底部均设置有导流层(10)，所述第一反应腔(3)、第二反应腔(4)和第三反应腔(5)的内部均放置有砷化镓溶液(9)，所述第一反应腔(3)、第二反应腔(4)和第三反应腔(5)外表面均设置有导热层(11)，所述第一反应腔(3)的外表面设置有低温加热区(8)，所述第二反应腔(4)的外表面设置有常温加热区(8a)，所述第三反应腔(5)的外表面设置有高温加热区(8b)。