[实用新型]一种多温区砷化镓合成装置

权利要求书

1.一种多温区砷化镓合成装置，包括反应器外壳体(1)、反应器内壳体(2)、第一反应腔(3)、第二反应腔(4)和第三反应腔(5)，其特征在于：所述反应器外壳体(1)的底部固定安装有支撑架(13)，所述支撑架(13)上固定连接有安装板(14)，所述反应器外壳体(1)底部固定安装有三组导出器(15)，所述反应器外壳体(1)基面固定安装有三组观察窗口(17)，所述反应器外壳体(1)顶部固定安装有三组第一导入器(6)和第二导入器(7)，所述第一导入器(6)、第二导入器(7)和导出器(15)均包括导管(22)、活塞(20)、推把(18)和出进液管(21)，所述活塞(20)和推把(18)通过连接杆(19)固定连接，所述反应器外壳体(1)的内部固定安装有反应器内壳体(2)，所述反应器内壳体(2)和第一导入器(6)、第二导入器(7)、导出器(15)均通过通孔(12)贯通连接，所述反应器内壳体(2)的内部从左至右依次设置有第一反应腔(3)、第二反应腔(4)和第三反应腔(5)，所述第二反应腔(4)和第一反应腔(3)、第三反应腔(5)均通过隔层(16)固定连接，所述第一反应腔(3)、第二反应腔(4)和第三反应腔(5)底部均设置有导流层(10)，所述第一反应腔(3)、第二反应腔(4)和第三反应腔(5)的内部均放置有砷化镓溶液(9)，所述第一反应腔(3)、第二反应腔(4)和第三反应腔(5)外表面均设置有导热层(11)，所述第一反应腔(3)的外表面设置有低温加热区(8)，所述第二反应腔(4)的外表面设置有常温加热区(8a)，所述第三反应腔(5)的外表面设置有高温加热区(8b)。

2.根据权利要求1所述的一种多温区砷化镓合成装置，其特征在于：所述支撑架(13)呈倒锥形状。

3.根据权利要求1所述的一种多温区砷化镓合成装置，其特征在于：所述活塞(20)的外径大小和导管(22)的内径大小相等。

4.根据权利要求1所述的一种多温区砷化镓合成装置，其特征在于：所述反应器外壳体(1)和反应器内壳体(2)之间充设有氮气。

5.根据权利要求1所述的一种多温区砷化镓合成装置，其特征在于：所述导流层(10)和出进液管(21)均呈倾斜状，且倾斜角度为三十度。

6.根据权利要求1所述的一种多温区砷化镓合成装置，其特征在于：所述反应器外壳体(1)和反应器内壳体(2)均呈圆柱体形状，且反应器内壳体(2)的直径大小小于反应器外壳体(1)的直径大小。