[实用新型]一种五分割背散射电子探测器有效
| 申请号： | 201821969904.5 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN209471067U | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 皮晓宇 | 申请（专利权）人： | 上海欧波同仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/20008 | 分类号： | G01N23/20008 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200433 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种五分割背散射电子探测器，包括安装壳体，所述安装壳体的两侧外壁均开设有定位槽，且两个定位槽相互远离的一侧外壁均焊接有伸缩弹簧，所述安装壳体的顶部外壁设置有覆膜，且覆膜的底部两侧外壁均通过螺钉连接有固定板，所述固定板的一侧外壁通过螺纹连接有定位螺纹杆，且两个所述定位螺纹杆相互靠近的一侧外壁与伸缩弹簧远离安装壳体的一侧外壁滑动连接，所述覆膜的顶部外壁粘贴有等距离分布的硅片探测基板。本实用新型中，通过设置有五个硅片探测基板，能够可以对具有不同角度的背散射电子进行成像，此结构能够保证背散射电子探测器的对称性，且硅片探测基板之间间隙尽可能小，能够有效利用覆膜空间，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 安装壳体 覆膜 外壁 背散射电子探测器 探测基板 硅片 本实用新型 定位螺纹杆 顶部外壁 两侧外壁 伸缩弹簧 定位槽 固定板 等距离分布 滑动连接 螺钉连接 螺纹连接 背散射 分割 粘贴 成像 焊接 保证 | ||
【主权项】：
1.一种五分割背散射电子探测器，包括安装壳体(17)，其特征在于，所述安装壳体(17)的两侧外壁均开设有定位槽(2)，且两个定位槽(2)相互远离的一侧外壁均焊接有伸缩弹簧(13)，所述安装壳体(17)的顶部外壁设置有覆膜(14)，且覆膜(14)的底部两侧外壁均通过螺钉连接有固定板(18)，所述固定板(18)的一侧外壁通过螺纹连接有定位螺纹杆(1)，且两个所述定位螺纹杆(1)相互靠近的一侧外壁与伸缩弹簧(13)远离安装壳体(17)的一侧外壁滑动连接，所述覆膜(14)的顶部外壁粘贴有等距离分布的硅片探测基板(15)，且覆膜(14)的顶部中央开设有同一个中心孔(16)，所述覆膜(14)的顶部外壁开设有凹槽(20)，所述硅片探测基板(15)的顶部外壁均通过螺钉连接有导线(19)，所述安装壳体(17)的顶部外壁开设有通孔，且通孔位于中心孔(16)的下方，所述安装壳体(17)的两端内壁均通过螺栓连接有同一个半导体制冷片(4)，且半导体制冷片的顶部和底部外壁均通过螺钉连接有等距离分布的导热柱(12)，所述半导体制冷片(4)一端外壁通过螺钉连接有等距离分布的散热片(21)，且散热片(21)延伸到安装壳体(17)的外部。
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