[实用新型]一种五分割背散射电子探测器有效
| 申请号： | 201821969904.5 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN209471067U | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 皮晓宇 | 申请（专利权）人： | 上海欧波同仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/20008 | 分类号： | G01N23/20008 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200433 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 安装壳体 覆膜 外壁 背散射电子探测器 探测基板 硅片 本实用新型 定位螺纹杆 顶部外壁 两侧外壁 伸缩弹簧 定位槽 固定板 等距离分布 滑动连接 螺钉连接 螺纹连接 背散射 分割 粘贴 成像 焊接 保证 | ||
1.一种五分割背散射电子探测器，包括安装壳体(17)，其特征在于，所述安装壳体(17)的两侧外壁均开设有定位槽(2)，且两个定位槽(2)相互远离的一侧外壁均焊接有伸缩弹簧(13)，所述安装壳体(17)的顶部外壁设置有覆膜(14)，且覆膜(14)的底部两侧外壁均通过螺钉连接有固定板(18)，所述固定板(18)的一侧外壁通过螺纹连接有定位螺纹杆(1)，且两个所述定位螺纹杆(1)相互靠近的一侧外壁与伸缩弹簧(13)远离安装壳体(17)的一侧外壁滑动连接，所述覆膜(14)的顶部外壁粘贴有等距离分布的硅片探测基板(15)，且覆膜(14)的顶部中央开设有同一个中心孔(16)，所述覆膜(14)的顶部外壁开设有凹槽(20)，所述硅片探测基板(15)的顶部外壁均通过螺钉连接有导线(19)，所述安装壳体(17)的顶部外壁开设有通孔，且通孔位于中心孔(16)的下方，所述安装壳体(17)的两端内壁均通过螺栓连接有同一个半导体制冷片(4)，且半导体制冷片的顶部和底部外壁均通过螺钉连接有等距离分布的导热柱(12)，所述半导体制冷片(4)一端外壁通过螺钉连接有等距离分布的散热片(21)，且散热片(21)延伸到安装壳体(17)的外部。
2.根据权利要求1所述的一种五分割背散射电子探测器，其特征在于，所述安装壳体(17)一端一侧内壁通过螺钉连接有处理器(3)。
3.根据权利要求1所述的一种五分割背散射电子探测器，其特征在于，所述安装壳体(17)的两侧内壁通过螺钉连接有同一个水平放置的固定杆(5)，且固定杆(5)位于半导体制冷片(4)的下方。
4.根据权利要求3所述的一种五分割背散射电子探测器，其特征在于，所述固定杆(5)的底部外壁开设有安装槽，且安装槽的顶部内壁通过螺钉连接有探测头壳体(6)，探测头壳体(6)延伸到安装壳体(17)的底部外壁。
5.根据权利要求3所述的一种五分割背散射电子探测器，其特征在于，所述固定杆(5)顶部一侧外壁通过螺钉连接有倾斜放置的侧板(11)，且侧板(11)远离固定杆(5)的一端与安装壳体(17)一侧内壁相连接。
6.根据权利要求4所述的一种五分割背散射电子探测器，其特征在于，所述探测头壳体(6)两侧外壁均通过螺栓连接有连接杆，连接杆的内壁插接有隔离柱(10)。
7.根据权利要求4所述的一种五分割背散射电子探测器，其特征在于，所述探测头壳体(6)一端内壁通过螺栓连接有放大器板(9)，且探测头壳体(6)的底部外壁通过螺纹连接有探测头(8)。
8.根据权利要求1所述的一种五分割背散射电子探测器，其特征在于，所述安装壳体(17)的底部外壁通过螺钉连接有探头玻璃罩(7)，且探头玻璃罩(7)位于探测头(8)的外部。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海欧波同仪器有限公司，未经上海欧波同仪器有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821969904.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
