[实用新型]一种五分割背散射电子探测器

说明书

本实用新型公开了一种五分割背散射电子探测器，包括安装壳体，所述安装壳体的两侧外壁均开设有定位槽，且两个定位槽相互远离的一侧外壁均焊接有伸缩弹簧，所述安装壳体的顶部外壁设置有覆膜，且覆膜的底部两侧外壁均通过螺钉连接有固定板，所述固定板的一侧外壁通过螺纹连接有定位螺纹杆，且两个所述定位螺纹杆相互靠近的一侧外壁与伸缩弹簧远离安装壳体的一侧外壁滑动连接，所述覆膜的顶部外壁粘贴有等距离分布的硅片探测基板。本实用新型中，通过设置有五个硅片探测基板，能够可以对具有不同角度的背散射电子进行成像，此结构能够保证背散射电子探测器的对称性，且硅片探测基板之间间隙尽可能小，能够有效利用覆膜空间，降低成本。

技术领域

本实用新型涉及电子探测器技术领域，尤其涉及一种五分割背散射电子探测器。

背景技术

现有技术中，习惯将能量高于50电子伏的称为背散射的一次电子(即背散射电子)，而能量低于50电子伏的称为真正的二次电子(即二次电子)。能接收背散射一次电子的探测器有罗宾逊探测器和半导体探测器等。

现有的半导体背散射电子探测器，大多采用四分割环形结构，这种四象限环形结构都是由一个完整的圆形硅片加工而成，将一整块圆形硅片分为四个单元，并在圆形硅片中间加工一个圆形的孔用于通过电子束，而且这样生产的圆形硅片占据的空间大不便于人们使用，不利于节约成本。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种五分割背散射电子探测器，可以有效的解决背景技术提出来的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种五分割背散射电子探测器，包括安装壳体，所述安装壳体的两侧外壁均开设有定位槽，且两个定位槽相互远离的一侧外壁均焊接有伸缩弹簧，所述安装壳体的顶部外壁设置有覆膜，且覆膜的底部两侧外壁均通过螺钉连接有固定板，所述固定板的一侧外壁通过螺纹连接有定位螺纹杆，且两个所述定位螺纹杆相互靠近的一侧外壁与伸缩弹簧远离安装壳体的一侧外壁滑动连接，所述覆膜的顶部外壁粘贴有等距离分布的硅片探测基板，且覆膜的顶部中央开设有同一个中心孔，所述覆膜的顶部外壁开设有凹槽，所述硅片探测基板的顶部外壁均通过螺钉连接有导线，所述安装壳体的顶部外壁开设有通孔，且通孔位于中心孔的下方，所述安装壳体的两端内壁均通过螺栓连接有同一个半导体制冷片，且半导体制冷片的顶部和底部外壁均通过螺钉连接有等距离分布的导热柱，所述半导体制冷片一端外壁通过螺钉连接有等距离分布的散热片，且散热片延伸到安装壳体的外部。

优选的，所述安装壳体一端一侧内壁通过螺钉连接有处理器。

优选的，所述安装壳体的两侧内壁通过螺钉连接有同一个水平放置的固定杆，且固定杆位于半导体制冷片的下方。

优选的，所述固定杆的底部外壁开设有安装槽，且安装槽的顶部内壁通过螺钉连接有探测头壳体，探测头壳体延伸到安装壳体的底部外壁。

优选的，所述固定杆顶部一侧外壁通过螺钉连接有倾斜放置的侧板，且侧板远离固定杆的一端与安装壳体一侧内壁相连接。

优选的，所述探测头壳体两侧外壁均通过螺栓连接有连接杆，连接杆的内壁插接有隔离柱。

优选的，所述探测头壳体一端内壁通过螺栓连接有放大器板，且探测头壳体的底部外壁通过螺纹连接有探测头。

优选的，所述安装壳体的底部外壁通过螺钉连接有探头玻璃罩，且探头玻璃罩位于探测头的外部。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

1、通过在覆膜上设置有五个硅片探测基板，能够可以对具有不同角度的背散射电子进行成像，使此五分割背散射电子探测器成像质量高，便于人们的使用，此结构能够保证背散射电子探测器的对称性，且硅片探测基板之间间隙尽可能小，能够有效利用覆膜空间，降低成本。