[实用新型]一种晶圆转载治具、晶圆转载装置及PECVD设备

摘要

本实用新型属于晶圆加工设备技术领域，提供了一种晶圆转载治具，包括治具本体，治具本体的顶面开设有若干晶圆放置槽，治具本体的底部开设有用以卡装于加热载台上的卡装槽，治具本体的周向边缘位置设有至少一对便于取放该治具本体的挂耳。一种晶圆转载装置，包括上述所述的晶圆转载治具，还包括用以挂装于挂耳上、与上述治具配合使用的挂钩。一种PECVD设备，包括下机台、加热载台和上腔盖，还包括上述所述的晶圆转载装置，对晶圆加工时，治具本体通过卡装槽卡装于加热载台的顶部。本实用新型使得对晶圆的加工效率大大提高，大幅提升了PECVD设备的产能，且相较在高温加热载台上直接取放晶圆的操作，提高了工作人员的工作效率，操作安全性更有保障。

主权项

1.一种晶圆转载治具，其特征在于：包括治具本体，所述治具本体的顶面开设有若干晶圆放置槽，所述治具本体的底部开设有一卡装槽，所述卡装槽与PECVD机台内的加热载台顶部相适配，所述治具本体的周向边缘位置设有至少一对便于取放该治具本体的挂耳。