[实用新型]一种紫外线曝光机用氮气幕有效

专利信息
申请号: 201821900348.6 申请日: 2018-11-16
公开(公告)号: CN209118056U 公开(公告)日: 2019-07-16
发明(设计)人: 朱文龙 申请(专利权)人: 海太半导体(无锡)有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 代理人: 赵华
地址: 214000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供一种紫外线曝光机用氮气幕,包括氮气幕壳体、底座、气道、出气孔、连接块和围挡边,氮气幕壳体呈圆弧形并固定安装在底座上,氮气幕壳体内设置有出气孔,氮气幕壳体内部设置有连接气源与出气孔的气道,氮气幕壳体外径圈上设置有连接块,氮气幕壳体靠近凸起一侧的外圆周上设置有围挡边,氮气幕壳体表面涂布有特氟龙,材质采用陶瓷。本实用新型通过氮气幕的机构完善了氮气对产品的保护,有效的防止了因为紫外线照射使空气中的氧气和水蒸气发生反应,造成紫外线的减弱从而导致的胶膜粘性过高产生的品质隐患。
搜索关键词: 氮气 壳体 出气孔 紫外线曝光机 本实用新型 气道 围挡 底座 紫外线照射 胶膜粘性 壳体表面 壳体内部 水蒸气 特氟龙 外径圈 外圆周 圆弧形 紫外线 气源 凸起 氧气 陶瓷 高产 体内
【主权项】:
1.一种紫外线曝光机用氮气幕,其特征在于,包括氮气幕壳体(1)、底座(2)、气道(3)、出气孔(4)、连接块(5)和围挡边(6),所述氮气幕壳体(1)呈圆弧形并固定安装在底座(2)上,所述氮气幕壳体(1)内设置有出气孔(4),所述氮气幕壳体(1)内部设置有连接气源与出气孔(4)的气道(3),所述氮气幕壳体(1)外径圈上设置有连接块(5),所述氮气幕壳体(1)靠近凸起一侧的外圆周上设置有围挡边(6),所述氮气幕壳体(1)表面涂布有特氟龙,材质采用陶瓷。
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