[实用新型]一种紫外线曝光机用氮气幕

权利要求书

1.一种紫外线曝光机用氮气幕，其特征在于，包括氮气幕壳体(1)、底座(2)、气道(3)、出气孔(4)、连接块(5)和围挡边(6)，所述氮气幕壳体(1)呈圆弧形并固定安装在底座(2)上，所述氮气幕壳体(1)内设置有出气孔(4)，所述氮气幕壳体(1)内部设置有连接气源与出气孔(4)的气道(3)，所述氮气幕壳体(1)外径圈上设置有连接块(5)，所述氮气幕壳体(1)靠近凸起一侧的外圆周上设置有围挡边(6)，所述氮气幕壳体(1)表面涂布有特氟龙，材质采用陶瓷。

2.根据权利要求1所述的紫外线曝光机用氮气幕，其特征在于：所述氮气幕壳体(1)通过螺栓固定安装在底座(2)上，所述螺栓设置有多个与出气孔(4)对应，呈圆形阵列状分布。

3.根据权利要求2所述的紫外线曝光机用氮气幕，其特征在于：所述出气孔(4)围绕氮气幕壳体(1)的圆心呈环形阵列状分布，每一列所述出气孔(4)设置有多个，对应的所述气道(3)以圆心为中心发散设置。

4.根据权利要求3所述的紫外线曝光机用氮气幕，其特征在于：每一列所述出气孔(4)设置有四个，在所述氮气幕壳体(1)上设置有八列上述出气孔(4)。

5.根据权利要求4所述的紫外线曝光机用氮气幕，其特征在于：所述氮气幕壳体(1)的凸起部分正对产品，所述产品下方设置有紫外线光源(7)，所述氮气幕壳体(1)和紫外线光源(7)均安装在工作腔体(8)内，所述工作腔体(8)内在产品入口内的上方设置有传感器(9)，所述传感器(9)与安装在氮气幕壳体(1)上的电磁阀连接。

6.根据权利要求5所述的紫外线曝光机用氮气幕，其特征在于：所述连接块(5)上设置有螺栓孔(10)，所述螺栓孔(10)穿过螺栓与工作腔体(8)固定连接。

7.根据权利要求6所述的紫外线曝光机用氮气幕，其特征在于：所述传感器(9)为光学传感器。