[实用新型]水平区熔法提纯生长超高纯锗单晶的石英舟有效

专利信息
申请号: 201821879160.8 申请日: 2018-11-15
公开(公告)号: CN209052802U 公开(公告)日: 2019-07-02
发明(设计)人: 李学洋;董汝昆;普世坤;惠峰;柳廷龙;钟文;赵燕;张朋;林作亮;陈代凤;滕文 申请(专利权)人: 云南中科鑫圆晶体材料有限公司;昆明云锗高新技术有限公司;云南鑫耀半导体材料有限公司
主分类号: C30B13/14 分类号: C30B13/14;C30B29/08
代理公司: 昆明祥和知识产权代理有限公司 53114 代理人: 施建辉
地址: 650000 云南省昆明市高新*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 水平区熔法提纯生长超高纯锗单晶的石英舟,涉及超高纯锗单晶的生长器皿。尤其是一种既能提高锗材料的区熔提纯效果,又能减少锗金属污染的环节和可能性,最大程度的保证锗金属材料的纯度,在特定的加热温度下,有效控制较窄熔区,以缩短杂质扩散路径的应用于水平区熔法提纯生长超高纯锗单晶的石英舟。本实用新型的水平区熔法提纯生长超高纯锗单晶的石英舟,其特征在于该石英舟包括籽晶段、变径段以及等径段,籽晶段、变径段以及等径段顺序连接,所述的变径段呈圆锥状,锥度为45°;变径段尾部呈封闭状。
搜索关键词: 超高纯 石英舟 锗单晶 变径段 水平区 提纯 生长 等径段 籽晶 本实用新型 金属材料 金属污染 顺序连接 提纯效果 有效控制 杂质扩散 封闭状 圆锥状 锗材料 器皿 熔区 锥度 加热 环节 应用 保证
【主权项】:
1.一种水平区熔法提纯生长超高纯锗单晶的石英舟,其特征在于该石英舟包括籽晶段(1)、变径段(2)以及等径段(3),籽晶段(1)、变径段(2)以及等径段(3)顺序连接,所述的变径段(2)呈圆锥状,锥度为45°;变径段(2)尾部呈封闭状。
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