[实用新型]一种直拉法单晶炉取单晶保护装置有效
| 申请号： | 201821875455.8 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN209128588U | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 李鹏飞 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种直拉法单晶炉取单晶保护装置，单晶炉取单晶保护装置设于单晶炉的副炉室上，包括单晶棒承托部、连接杆部和驱动旋转部，连接杆部的一端通过驱动旋转部与副炉室连接，连接杆部的另一端与单晶棒承托部连接，驱动旋转部可驱动连接杆部旋转将单晶棒承托部旋转至副炉室的底部出口的下方。该取单晶保护装置可在单晶炉的副炉室旋转取出单晶棒时对单晶棒产生一定的承托力，防止取单晶过程中单晶棒坠落，且结构稳定，操作简便、安全。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶棒 单晶炉 单晶保护 副炉室 连接杆部 驱动旋转 承托部 直拉法 本实用新型 驱动连接杆 底部出口 结构稳定 承托力 单晶 坠落 取出 安全 | ||
【主权项】：
1.一种直拉法单晶炉取单晶保护装置，其特征在于：所述单晶炉取单晶保护装置设于单晶炉的副炉室上，包括单晶棒承托部、连接杆部和驱动旋转部，所述连接杆部的一端通过所述驱动旋转部与所述副炉室连接，所述连接杆部的另一端与所述单晶棒承托部连接，所述驱动旋转部可驱动所述连接杆部旋转将所述单晶棒承托部旋转至所述副炉室的底部出口的下方。
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