[实用新型]一种直拉法单晶炉取单晶保护装置有效
| 申请号： | 201821875455.8 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN209128588U | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 李鹏飞 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶棒 单晶炉 单晶保护 副炉室 连接杆部 驱动旋转 承托部 直拉法 本实用新型 驱动连接杆 底部出口 结构稳定 承托力 单晶 坠落 取出 安全 | ||
1.一种直拉法单晶炉取单晶保护装置，其特征在于：所述单晶炉取单晶保护装置设于单晶炉的副炉室上，包括单晶棒承托部、连接杆部和驱动旋转部，所述连接杆部的一端通过所述驱动旋转部与所述副炉室连接，所述连接杆部的另一端与所述单晶棒承托部连接，所述驱动旋转部可驱动所述连接杆部旋转将所述单晶棒承托部旋转至所述副炉室的底部出口的下方。
2.根据权利要求1所述的单晶炉取单晶保护装置，其特征在于：所述驱动旋转部包括伸缩杆、转接杆部和转轴，所述伸缩杆的一端与所述副炉室铰接，所述伸缩杆的伸缩端与所述转接杆部的一端铰接，所述转接杆部的另一端与所述转轴连接，所述转轴与所述副炉室铰接，所述连接杆部的一端与所述转轴连接。
3.根据权利要求1所述的单晶炉取单晶保护装置，其特征在于：所述驱动旋转部为旋转电机，所述旋转电机的输出轴与所述连接杆部的一端连接。
4.根据权利要求1-3任一所述的单晶炉取单晶保护装置，其特征在于：所述驱动旋转部和所述连接杆部均为两个，分别设于所述副炉室的两侧，所述单晶棒承托部的两侧分别与两个所述连接杆部的一端连接。
5.根据权利要求1-3任一所述的单晶炉取单晶保护装置，其特征在于：所述单晶棒承托部为圆环状承托盘。
6.根据权利要求1-3任一所述的单晶炉取单晶保护装置，其特征在于：所述单晶棒承托部、所述连接杆部和所述驱动旋转部为两组，相互平行设于所述副炉室上，所述单晶棒承托部为半圆环状承托盘。
7.根据权利要求6所述的单晶炉取单晶保护装置，其特征在于：每组所述连接杆部包括两个所述连接杆部，每组所述驱动旋转部包括两个驱动旋转部，两个所述连接杆部和所述驱动旋转部分别设于所述副炉室的两侧。
8.根据权利要求2所述的单晶炉取单晶保护装置，其特征在于：所述伸缩杆为电动伸缩杆或伸缩气缸。
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