[实用新型]一种直拉法单晶炉取单晶保护装置

说明书

本实用新型提供一种直拉法单晶炉取单晶保护装置，单晶炉取单晶保护装置设于单晶炉的副炉室上，包括单晶棒承托部、连接杆部和驱动旋转部，连接杆部的一端通过驱动旋转部与副炉室连接，连接杆部的另一端与单晶棒承托部连接，驱动旋转部可驱动连接杆部旋转将单晶棒承托部旋转至副炉室的底部出口的下方。该取单晶保护装置可在单晶炉的副炉室旋转取出单晶棒时对单晶棒产生一定的承托力，防止取单晶过程中单晶棒坠落，且结构稳定，操作简便、安全。

技术领域

本实用新型属于单晶炉技术领域，尤其是涉及一种直拉法单晶炉取单晶保护装置。

背景技术

单晶炉是半导体技术领域生长单晶的常用设备，直拉法生产单晶时，通常先在单晶炉中，通入惰性气体，将多晶硅材料投入单晶炉中并高温熔化，然后引入籽晶，使原料棒的顶部和在其上部靠近的同轴固定的单晶籽晶之间形成熔滴，随着硅芯晶体不断生长，单晶炉中提拉机构向上作慢速提拉，最终生成单晶棒，然后将单晶棒从单晶炉的副炉室中取出，由于取出单晶棒时需将副炉室在水平方向上旋转，以使副炉室与主炉室的出口之间错开，而副炉室在旋转的过程中带动单晶棒旋转产生横向应力，但提升单晶所需的上端籽晶直径细且从理论上无法增大直径，因此在副炉室旋转的过程中极易发生断晶，单晶棒坠落，造成硅料，石英坩埚，石墨坩埚，甚至热场，炉底板击穿等损失，损失巨大。

发明内容

本实用新型要解决的问题是提供一种直拉法单晶炉取单晶保护装置，可在单晶炉的副炉室旋转取出单晶棒时对单晶棒产生一定的承托力，防止取单晶过程中单晶棒坠落。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种直拉法单晶炉取单晶保护装置，单晶炉取单晶保护装置设于单晶炉的副炉室上，包括单晶棒承托部、连接杆部和驱动旋转部，连接杆部的一端通过驱动旋转部与副炉室连接，连接杆部的另一端与单晶棒承托部连接，驱动旋转部可驱动连接杆部旋转将单晶棒承托部旋转至副炉室的底部出口的下方。

技术方案中，优选的，驱动旋转部包括伸缩杆、转接杆部和转轴，伸缩杆的一端与副炉室铰接，伸缩杆的伸缩端与转接杆部的一端铰接，转接杆部的另一端与转轴连接，转轴与副炉室铰接，连接杆部的一端与转轴连接。

技术方案中，优选的，驱动旋转部为旋转电机，旋转电机的输出轴与连接杆部的一端连接。

技术方案中，优选的，驱动旋转部和连接杆部均为两个，分别设于副炉室的两侧，单晶棒承托部的两侧分别与两个连接杆部的一端连接。

技术方案中，优选的，单晶棒承托部为圆环状承托盘。

技术方案中，优选的，单晶棒承托部、连接杆部和驱动旋转部为两组，相互平行设于副炉室上，单晶棒承托部为半圆环状承托盘。

技术方案中，优选的，每组连接杆部包括两个连接杆部，每组驱动旋转部包括两个驱动旋转部，两个连接杆部和驱动旋转部分别设于副炉室的两侧。

技术方案中，优选的，伸缩杆为电动伸缩杆或伸缩气缸。

本实用新型具有的优点和积极效果是：

1.该直拉法单晶炉取单晶保护装置设于单晶炉的副炉室的下部，可在取单晶时单晶炉副炉室旋转时对单晶棒起到承托作用，有效的防止单晶棒受横向应力断晶坠落，且其结构稳定，对单晶棒的承托稳定；

2.该取单晶保护装置通过电动伸缩杆或伸缩气缸驱动，操作过程中只需在控制面板上控制电动伸缩杆或伸缩气缸的运作即可操作保护装置调整承托位和悬挂位，尤其对于炉体尺寸大的设备，无需人工爬至高处手动调整，操作更方便且更安全；

3.该直拉法单晶炉取单晶保护装置中可通过调节连接杆部的旋转角度改变两半圆环的位置，从而调整两半圆环闭合时的开合大小，调整单晶棒承托部在单晶棒上的承托部位，操作人员可根据拉单晶的直径大小调整伸缩气缸的伸缩长度，从而调节两半圆环之间的开合大小，使其适应不同直径大小的单晶棒，承托作用更稳定。