[实用新型]镀膜设备用加热腔体及镀膜设备有效
| 申请号： | 201821805404.8 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN209338645U | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 李定伟 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 100176 北京市北京经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及镀膜设备用加热腔体及镀膜设备，其中，镀膜设备用加热腔体具有腔体本体和光电开关，光电开关包括光栅发射端和用于接收自光栅发射端发出的光线的光栅接收端，光栅发射端设置在腔体本体沿高度方向的一侧表面的内壁上，光栅接收端设置在腔体本体沿高度方向的另一侧表面的内壁上；该镀膜设备具有前述镀膜设备用加热腔体。本实用新型能够缩短光栅感应距离，增强光电开关接收信号的强度，降低错误信号发生的概率，同时，降低光栅安装难度、提高安装效率。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜设备 光栅 加热腔体 光电开关 腔体本体 发射端 本实用新型 接收端 内壁 安装效率 错误信号 感应距离 光栅安装 概率 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜设备用加热腔体，其特征在于，具有腔体本体和光电开关，所述光电开关包括光栅发射端和用于接收自所述光栅发射端发出的光线的光栅接收端，所述光栅发射端设置在所述腔体本体沿高度方向的一侧表面的内壁上，所述光栅接收端设置在所述腔体本体沿高度方向的另一侧表面的内壁上。
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