[实用新型]镀膜设备用加热腔体及镀膜设备有效
| 申请号： | 201821805404.8 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN209338645U | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 李定伟 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 100176 北京市北京经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜设备 光栅 加热腔体 光电开关 腔体本体 发射端 本实用新型 接收端 内壁 安装效率 错误信号 感应距离 光栅安装 概率 | ||
1.一种镀膜设备用加热腔体，其特征在于，具有腔体本体和光电开关，
所述光电开关包括光栅发射端和用于接收自所述光栅发射端发出的光线的光栅接收端，
所述光栅发射端设置在所述腔体本体沿高度方向的一侧表面的内壁上，所述光栅接收端设置在所述腔体本体沿高度方向的另一侧表面的内壁上。
2.根据权利要求1所述的镀膜设备用加热腔体，其特征在于，所述光栅发射端和所述光栅接收端分别为柱状结构，且所述光栅发射端的中轴线和所述光栅接收端的中轴线处于同一条直线上。
3.根据权利要求1或2所述的镀膜设备用加热腔体，其特征在于，
所述光栅发射端和所述光栅接收端均通过固定构件设置在所述腔体本体的相应内壁上。
4.根据权利要求3所述的镀膜设备用加热腔体，其特征在于，所述固定构件焊接或螺纹连接于所述腔体本体的腔体外壁上。
5.根据权利要求4所述的镀膜设备用加热腔体，其特征在于，所述固定构件具有贯穿所述腔体本体的腔体壁伸入所述腔体本体的内部的安装部。
6.根据权利要求5所述的镀膜设备用加热腔体，其特征在于，
所述光栅发射端和所述光栅接收端可拆卸地安装在所述安装部上。
7.根据权利要求6所述的镀膜设备用加热腔体，其特征在于，
在所述安装部上形成有卡接槽，所述光栅发射端和所述光栅接收端的端部分别卡接在所述卡接槽内。
8.根据权利要求6所述的镀膜设备用加热腔体，其特征在于，在所述光栅发射端的端部和所述光栅接收端的端部分别设置有连接片，所述连接片通过螺钉与所述安装部连接。
9.根据权利要求1所述的镀膜设备用加热腔体，其特征在于，所述光电开关包括至少两组光栅发射端和光栅接收端。
10.一种镀膜设备，其特征在于，具有权利要求1至9中任一项所述的镀膜设备用加热腔体。
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