[实用新型]镀膜设备用加热腔体及镀膜设备

说明书

本实用新型涉及镀膜设备用加热腔体及镀膜设备，其中，镀膜设备用加热腔体具有腔体本体和光电开关，光电开关包括光栅发射端和用于接收自光栅发射端发出的光线的光栅接收端，光栅发射端设置在腔体本体沿高度方向的一侧表面的内壁上，光栅接收端设置在腔体本体沿高度方向的另一侧表面的内壁上；该镀膜设备具有前述镀膜设备用加热腔体。本实用新型能够缩短光栅感应距离，增强光电开关接收信号的强度，降低错误信号发生的概率，同时，降低光栅安装难度、提高安装效率。

技术领域

本实用新型涉及镀膜领域，尤其是涉及一种镀膜设备用加热腔体及镀膜设备。

背景技术

在现有技术中，镀膜设备(coater设备)包括工艺模块(PM1)、加热模块(HM1/2)、输入模块(IM2)以及载体(Carrier)；载体Carrier用于携带待镀膜材料，PM1具有工艺腔体、HM1/2具有加热腔体，IM2具有输入通道；PM1的工艺腔体需稳定镀膜工艺参数，稳定过程包括金属源材料、氟化钠(NaF)、氟化钾(KF)等物料的投入，还需要在至少三天内一直不停的投入480片/天的镀钼玻璃，期间需要向coater设备不间断地供应需要的水、电、气等厂务资源。

图1是表示现有技术中镀膜设备的输入通道、加热腔体与工艺腔体之间的位置关系示意图；图2是表示现有技术中镀膜设备的载体Carrier的结构示意图；图3是表示现有技术中加热腔体的光栅发射端和光栅接收端的安装结构示意图。

其中，图1示出的左右方向即为宽度方向；图1示出的上下方向即为高度方向；图1示出的自前向后延伸的方向即为载体Carrier的行进方向。下面，结合图1至图3对现有技术进行说明：

参照图1至图3，输入通道01、加热腔体02与工艺腔体03在水平方向上依次连接，且，在输入通道01与加热腔体02之间设置有门阀；携带有待镀膜材料的载体Carrier 04能够沿行进方向依次穿过IM2的输入通道01、HM1/2的加热腔体02以及PM1的工艺腔体03。期间，在PM1的工艺腔体03中充满了各种源蒸发气体，用于完成对待镀膜材料的多元共蒸发镀膜。

在多元共蒸发镀膜过程中，门阀需处于关闭状态，以使IM2的输入通道01与HM1/2的加热腔体02之间相互隔断，门阀开启时，载体Carrier 04自IM2的输入通道01向HM1/2的加热腔体02运输，直至进入到PM1的工艺腔体03进行多元共蒸发镀膜，只有在门阀开关状态正常的情况下，coater设备才能正常稳定工作。

为使门阀实现自动化开闭，在加热腔体02上设置有通过PLC处理器与门阀信号连接的光电开关，该光电开关包括光栅发射端1和光栅接收端2，光电开关的工作原理是通过把光强度的变化转换成电信号的变化，这种开关是通过利用被检测物对光束的遮挡或者是反射，然后实现回路来接通电路，可以检测物体的有无，从而实现控制功能。光电开关主要用于检测载体carrier 04的位置并反馈给PLC处理器，从而完成对IM2的输入通道01与HM1/2的加热腔体02之间的门阀的开关控制，进行载体carrier 04的传输，其测量精度直接决定了系统控制精度。

目前，沿载体carrier 04在HM1/2的加热腔体02内行进的方向，光电开关的光栅发射端1和光栅接收端2是安装在HM1/2的加热腔体02的左右两侧，横跨HM1/2的加热腔体02的整个宽度，而当前使用的HM1/2的加热腔体02的腔体宽度明显大于其腔体上下方向上的高度，其中，腔体宽度是大约为腔体高度的5倍左右，这就导致了光栅发射端1和光栅接收端2之间的距离较远。