[实用新型]一种化学气相沉积反应用加热器有效
| 申请号： | 201821756831.1 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN208933469U | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 常强;肖学才;方明喜 | 申请（专利权）人： | 爱利彼半导体设备（中国）有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种化学气相沉积反应用加热器，包括加热器本体，加热器本体包括第一加热管和第二加热管，第一加热管贯穿加热器本体的一端一体成型有第一加热进气口，第一加热管贯穿加热器本体的另一端一体成型有第一加热排气口，第二加热管安装在第一加热管的内部；采用加热器本体内部采用第一加热管和第二加热管，使加热器本体内部的气体进行隔离，使气体通过加热器本体内部的第一加热管和第二加热管分割成三个加热区域，增加气体加热的便捷性，同时第一加热管和第二加热管均采用螺旋形管，增加第一加热管和第二加热管的表面面积，增加气体与第一加热管和第二加热管接触的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 加热管 加热器本体 化学气相沉积 加热器 一体成型 本实用新型 加热进气口 加热排气口 加热区域 螺旋形管 气体加热 气体通过 便捷性 贯穿 隔离 分割 | ||
【主权项】：
1.一种化学气相沉积反应用加热器，包括加热器本体(1)，其特征在于：所述加热器本体(1)包括第一加热管(5)和第二加热管(8)，所述第一加热管(5)贯穿加热器本体(1)的一端一体成型有第一加热进气口(6)，所述第一加热管(5)贯穿加热器本体(1)的另一端一体成型有第一加热排气口(7)，所述第二加热管(8)安装在第一加热管(5)的内部，所述第二加热管(8)贯穿第一加热管(5)的一端一体成型有第二加热进气口(9)，所述第二加热管(8)贯穿第一加热管(5)的另一端一体成型有第二加热排气口(10)，所述第一加热管(5)和第二加热管(8)之间安装有第一加热电阻丝(11)。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
