[实用新型]一种化学气相沉积反应用加热器

说明书

本实用新型涉及一种化学气相沉积反应用加热器，包括加热器本体，加热器本体包括第一加热管和第二加热管，第一加热管贯穿加热器本体的一端一体成型有第一加热进气口，第一加热管贯穿加热器本体的另一端一体成型有第一加热排气口，第二加热管安装在第一加热管的内部；采用加热器本体内部采用第一加热管和第二加热管，使加热器本体内部的气体进行隔离，使气体通过加热器本体内部的第一加热管和第二加热管分割成三个加热区域，增加气体加热的便捷性，同时第一加热管和第二加热管均采用螺旋形管，增加第一加热管和第二加热管的表面面积，增加气体与第一加热管和第二加热管接触的时间。

技术领域

本实用新型属于化学气相沉积技术领域，具体涉及一种化学气相沉积反应用加热器。

背景技术

化学气相沉积反应用加热器，对需要进行化学气相沉淀反应的气体进行加热，化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。它大致包含三步：形成挥发性物质；把上述物质转移至沉积区域；在固体上产生化学反应并产生固态物质。最基本的化学气相沉积反应包括热分解反应、化学合成反应以及化学传输反应等集中。

现有的化学气相沉积反应用加热器，对气体进行加热时，气体由于进行反应的温度不同，需要采用多个加热装置对气体进行加热，提高了设备采购数量，增加进行化学气相沉积反应的成本。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种化学气相沉积反应用加热器，具有气体加热速率快，一个设备可以进行三种类别的加热方式，设备采购成本低的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种化学气相沉积反应用加热器，包括加热器本体，所述加热器本体包括第一加热管和第二加热管，所述第一加热管贯穿加热器本体的一端一体成型有第一加热进气口，所述第一加热管贯穿加热器本体的另一端一体成型有第一加热排气口，所述第二加热管安装在第一加热管的内部，所述第二加热管贯穿第一加热管的一端一体成型有第二加热进气口，所述第二加热管贯穿第一加热管的另一端一体成型有第二加热排气口，所述第一加热管和第二加热管之间安装有第一加热电阻丝。

为了增加加热器本体结构的稳定性，作为本实用新型的一种化学气相沉积反应用加热器优选技术方案，所述加热器本体还包括加热器外壳体、加热器内壳体和隔热板，所述隔热板填充在加热器外壳体和加热器内壳体之间，所述加热器外壳体和加热器内壳体均为桶装结构。

为了提高气体加热速率，作为本实用新型的一种化学气相沉积反应用加热器优选技术方案，所述第一加热管和第二加热管均为螺旋形管状结构，所述第一加热电阻丝螺旋环绕在第二加热管的外表面。

为了增加气体加热的速率，作为本实用新型的一种化学气相沉积反应用加热器优选技术方案，所述第一加热管的外表面环绕有第二加热电阻丝，所述第二加热电阻丝设置有五个。

为了使气体进行加热时进行区分，作为本实用新型的一种化学气相沉积反应用加热器优选技术方案，所述第二加热电阻丝为环形结构，五个所述第二加热电阻丝通过螺栓等间距固定在加热器内壳体的内表面。

为了增加气体加热的便捷性，作为本实用新型的一种化学气相沉积反应用加热器优选技术方案，所述加热器本体靠近第一加热进气口的表面贯通有第三加热进气口，所述加热器本体靠近第一加热排气口的表面贯通有第三加热排气口。

与现有技术相比，本实用新型的化学气相沉积反应用加热器具有如下有益效果：