[实用新型]一种便于固定的半导体加工用固定装置

摘要

本实用新型公开了一种便于固定的半导体加工用固定装置，属于半导体技术领域，其技术方案要点是，包括装置本体、升降装置和固定装置，装置本体的上端面安装有固定底座，固定底座的正面设置有推块，推块的内侧安装有连接轴，支撑杆的外侧壁贯穿连接有放置架，放置架两侧的边缘处均安装有凸板，放置架为活动式结构，压板的下端面活动连接有限位块，限位块呈“矩形”结构，限位块的内侧紧密贴合有橡胶垫，在对多块半导体进行加工的时候，工作人员将基板放到放置架内，工作人员再对放置架进行移动，使得基板与压板相接触，再通过移动限位块，限位块对基板进行压紧固定，解决了在半导体加工的过程中，容易发生推头脱开，对基板造成破坏的问题。

主权项

1.一种便于固定的半导体加工用固定装置，包括装置本体（1）、升降装置（3）和固定装置（4），其特征在于：所述装置本体（1）的上端面安装有固定底座（2），所述固定底座（2）的正面设置有推块（201），所述推块（201）的内侧安装有连接轴（202），所述固定底座（2）的内侧安装有滑轨（204），所述连接轴（202）与滑轨（204）活动连接，所述固定底座（2）的上端面开设有两个凹槽（205），所述固定底座（2）右侧的外侧壁安装有开关（207），所述开关（207）左侧的内侧连接有传动杆（2071），所述传动杆（2071）的左侧连接有弹块（2072），所述固定底座（2）的上端面安装有升降装置（3），所述升降装置（3）位于凹槽（205）的左侧，所述固定装置（4）包括平衡架（401）和两块压板（404），两块所述压板（404）安装在平衡架（401）的右侧。