[实用新型]一种便于固定的半导体加工用固定装置有效

专利信息
申请号: 201821734007.6 申请日: 2018-10-25
公开(公告)号: CN209119065U 公开(公告)日: 2019-07-16
发明(设计)人: 王永超 申请(专利权)人: 河南东微电子材料有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/687
代理公司: 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 代理人: 边延松
地址: 450000 河南省郑州市郑州航空港区*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 放置架 半导体加工 固定装置 限位块 固定底座 装置本体 对基板 固定的 基板 推块 压板 半导体技术领域 技术方案要点 本实用新型 活动式结构 移动限位块 活动连接 紧密贴合 升降装置 压紧固定 正面设置 脱开 边缘处 连接轴 上端面 外侧壁 下端面 橡胶垫 支撑杆 多块 凸板 推头 位块 半导体 贯穿 移动 加工
【权利要求书】:

1.一种便于固定的半导体加工用固定装置,包括装置本体(1)、升降装置(3)和固定装置(4),其特征在于:所述装置本体(1)的上端面安装有固定底座(2),所述固定底座(2)的正面设置有推块(201),所述推块(201)的内侧安装有连接轴(202),所述固定底座(2)的内侧安装有滑轨(204),所述连接轴(202)与滑轨(204)活动连接,所述固定底座(2)的上端面开设有两个凹槽(205),所述固定底座(2)右侧的外侧壁安装有开关(207),所述开关(207)左侧的内侧连接有传动杆(2071),所述传动杆(2071)的左侧连接有弹块(2072),所述固定底座(2)的上端面安装有升降装置(3),所述升降装置(3)位于凹槽(205)的左侧,所述固定装置(4)包括平衡架(401)和两块压板(404),两块所述压板(404)安装在平衡架(401)的右侧。

2.根据权利要求1所述的一种便于固定的半导体加工用固定装置,其特征在于:所述升降装置(3)包括上销座(303)、下销座(301)和伸缩杆(302),所述上销座(303)的正面安装有卡槽(3031),所述上销座(303)右侧的外侧壁安装有与下销座(301)外侧壁开设的安装槽相契合的凸块(3032)。

3.根据权利要求1所述的一种便于固定的半导体加工用固定装置,其特征在于:所述弹块(2072)的上端面安装有承重板(206),所述承重板(206)与开关(207)通过传动杆(2071)活动连接,所述承重板(206)位于两个凹槽(205)之间。

4.根据权利要求1所述的一种便于固定的半导体加工用固定装置,其特征在于:所述平衡架(401)两侧的边缘处开设有通孔(402),所述通孔(402)的下端面卡合连接有通孔(402),所述平衡架(401)的两侧的外侧壁安装有与卡槽(3031)相匹配的滑块(403)。

5.根据权利要求1所述的一种便于固定的半导体加工用固定装置,其特征在于:还包括支撑杆(5),所述支撑杆(5)的外侧壁贯穿连接有放置架(501),所述放置架(501)两侧的边缘处均安装有凸板,所述放置架(501)为活动式结构。

6.根据权利要求1所述的一种便于固定的半导体加工用固定装置,其特征在于:两个所述连接轴(202)的上端面均安装有挡板(203),所述挡板(203)的高度高于凹槽(205)的高度,所述挡板(203)的宽度等于凹槽(205)的宽度。

7.根据权利要求1所述的一种便于固定的半导体加工用固定装置,其特征在于:所述压板(404)的下端面活动连接有限位块(405),所述限位块(405)呈“矩形”结构,所述限位块(405)的内侧紧密贴合有橡胶垫。

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