[实用新型]一种密封性好的靶材热处理装置

摘要

本实用新型公开了一种密封性好的靶材热处理装置，属于靶材技术领域，其技术方案要点是，包括箱体和热处理腔室，箱体的一侧面铰接有观察门，观察区的一侧设置有热处理腔室，热处理腔室包括第一腔室和第二腔室，第一腔室内部固定连接有两支加热管，两支加热管之间设置有放置槽，放置槽的一端与第一腔室的内侧壁相互焊接，第一腔室的右侧固定连接有隔板，第一腔室与第二腔室通过隔板相互隔开，第二腔室的内部固定连接有两个加热板，且两个加热板平行设置，通过加热管与加热板对靶材进行加热处理使得靶材受热均匀，避免了靶材在使用过程中因为没有预热而容易开裂，提高了靶材的使用效率，避免了靶材的资源浪费。

主权项

1.一种密封性好的靶材热处理装置，包括箱体（1）和热处理腔室（3），其特征在于：所述箱体（1）的一侧面铰接有观察门（2），所述观察门（2）的外侧壁上固定连接有观察区（21），所述观察区（21）的下方设置有温控装置（4），所述温控装置（4）与观察门（2）相互卡接，所述观察区（21）的一侧设置有热处理腔室（3），所述热处理腔室（3）包括第一腔室（31）和第二腔室（33），所述第二腔室（33）位于第一腔室（31）的右侧，所述第一腔室（31）和第二腔室（33）与温控装置（4）通过导线连接，所述第一腔室（31）的内部固定连接有两支加热管（5），两支所述加热管（5）之间加工有放置槽（6），所述放置槽（6）的一端与第一腔室（31）的内侧壁相互焊接，所述位于右侧放置槽（6）的上端安装有第一传感器（8），所述第一传感器（8）与温控装置（4）通过导线相互连接，所述第一腔室（31）的右侧固定连接有隔板（32），所述第一传感器（8）的一端与隔板（32）固定连接，所述第一腔室（31）与第二腔室（33）通过隔板（32）相互隔开，所述第二腔室（33）的内部固定连接有两个加热板（7），且所述两个加热板（7）平行设置，所述第二腔室（33）的右内侧壁上安装有第二传感器（9），且第二传感器（9）位于两个加热板（7）之间，所述第二传感器（9）与温控装置（4）通过导线相互连接。