[实用新型]一种密封性好的靶材热处理装置

权利要求书

1.一种密封性好的靶材热处理装置，包括箱体（1）和热处理腔室（3），其特征在于：所述箱体（1）的一侧面铰接有观察门（2），所述观察门（2）的外侧壁上固定连接有观察区（21），所述观察区（21）的下方设置有温控装置（4），所述温控装置（4）与观察门（2）相互卡接，所述观察区（21）的一侧设置有热处理腔室（3），所述热处理腔室（3）包括第一腔室（31）和第二腔室（33），所述第二腔室（33）位于第一腔室（31）的右侧，所述第一腔室（31）和第二腔室（33）与温控装置（4）通过导线连接，所述第一腔室（31）的内部固定连接有两支加热管（5），两支所述加热管（5）之间加工有放置槽（6），所述放置槽（6）的一端与第一腔室（31）的内侧壁相互焊接，所述位于右侧放置槽（6）的上端安装有第一传感器（8），所述第一传感器（8）与温控装置（4）通过导线相互连接，所述第一腔室（31）的右侧固定连接有隔板（32），所述第一传感器（8）的一端与隔板（32）固定连接，所述第一腔室（31）与第二腔室（33）通过隔板（32）相互隔开，所述第二腔室（33）的内部固定连接有两个加热板（7），且所述两个加热板（7）平行设置，所述第二腔室（33）的右内侧壁上安装有第二传感器（9），且第二传感器（9）位于两个加热板（7）之间，所述第二传感器（9）与温控装置（4）通过导线相互连接。

2.根据权利要求1所述的一种密封性好的靶材热处理装置，其特征在于：所述加热板（7）的内部加工有加热槽（71），所述加热板（7）的外侧壁插接有导线管（72），所述加热板（7）与第二腔室（33）内侧壁通过导线管（72）固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种密封性好的靶材热处理装置，其特征在于：所述加热管（5）的一端插接有线槽（51），所述加热管（5）的两侧对称设置有固定架（52），所述固定架（52）的一端与第一腔室（31）内侧壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种密封性好的靶材热处理装置，其特征在于：所述温控装置（4）包括手动调控按钮（41）和显示屏（42），所述手动调控按钮（41）的上端设置有显示屏（42），所述显示屏（42）与第一传感器（8）、第二传感器（9）通过导线相互连接。

5.根据权利要求1所述的一种密封性好的靶材热处理装置，其特征在于：所述放置槽（6）设置有两组，两组所述放置槽（6）在同一水平线上，且放置槽（6）呈“凹形”状。

6.根据权利要求1所述的一种密封性好的靶材热处理装置，其特征在于：所述温控装置（4）的右侧设置有拉手（22），所述拉手（22）与观察门（2）的右端嵌入设置。

7.根据权利要求1所述的一种密封性好的靶材热处理装置，其特征在于：所述热处理腔室（3）的外侧设置有隔腔（11），所述处理腔室（3）与箱体（1）通过隔腔（11）相互隔开。