[实用新型]一种密封性好的靶材热处理装置

说明书

本实用新型公开了一种密封性好的靶材热处理装置，属于靶材技术领域，其技术方案要点是，包括箱体和热处理腔室，箱体的一侧面铰接有观察门，观察区的一侧设置有热处理腔室，热处理腔室包括第一腔室和第二腔室，第一腔室内部固定连接有两支加热管，两支加热管之间设置有放置槽，放置槽的一端与第一腔室的内侧壁相互焊接，第一腔室的右侧固定连接有隔板，第一腔室与第二腔室通过隔板相互隔开，第二腔室的内部固定连接有两个加热板，且两个加热板平行设置，通过加热管与加热板对靶材进行加热处理使得靶材受热均匀，避免了靶材在使用过程中因为没有预热而容易开裂，提高了靶材的使用效率，避免了靶材的资源浪费。

技术领域

本实用新型涉及靶材技术领域，特别涉及一种密封性好的靶材热处理装置。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。

金属靶材的制作过程一般包括熔炼、均匀化处理、塑性变形加工、热处理等步骤，其中靶材在使用过程中需要进行加热处理，而目前在使用靶材时一般没有进行预热处理，导致靶材在使用一段时间产生开裂，产生了靶材使用效率不高和靶材资源浪费的问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种密封性好的靶材热处理装置，解决靶材在使用过程中产生使用效率不高和靶材资源浪费的问题。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种密封性好的靶材热处理装置，包括箱体和热处理腔室，所述箱体的一侧面铰接有观察门，所述观察门的外侧壁上固定连接有观察区，所述观察区的下方设置有温控装置，所述温控装置与观察门相互卡接，所述观察区的一侧设置有热处理腔室，所述热处理腔室包括第一腔室和第二腔室，所述第二腔室位于第一腔室的右侧，所述第一腔室和第二腔室与温控装置通过导线连接，所述第一腔室的内部固定连接有两支加热管，两支所述加热管之间加工有放置槽，所述放置槽的一端与第一腔室的内侧壁相互焊接，所述位于右侧放置槽的上端安装有第一传感器，所述第一传感器与温控装置通过导线相互连接，所述第一腔室的右侧固定连接有隔板，所述第一传感器的一端与隔板固定连接，所述第一腔室与第二腔室通过隔板相互隔开，所述第二腔室的内部固定连接有两个加热板，且所述两个加热板平行设置，所述第二腔室的右内侧壁上安装有第二传感器，且第二传感器位于两个加热板之间，所述第二传感器与温控装置通过导线相互连接。

优选的，所述加热板的内部加工有加热槽，所述加热板的外侧壁插接有导线管，所述加热板与第二腔室内侧壁通过导线管固定连接。

优选的，所述加热管的一端插接有线槽，所述加热管的两侧对称设置有固定架，所述固定架的一端与第一腔室内侧壁固定连接。

优选的，所述温控装置包括手动调控按钮和显示屏，所述手动调控按钮的上端设置有显示屏，所述显示屏与第一传感器、第二传感器通过导线相互连接。

优选的，所述放置槽设置有两组，两组所述放置槽在同一水平线上，且放置槽呈“凹形”状。

优选的，所述温控装置的右侧设置有拉手，所述拉手与观察门的右端嵌入设置。

优选的，所述热处理腔室的外侧设置有隔腔，所述处理腔室与箱体通过隔腔相互隔开

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：