[实用新型]物理气相沉积PVD设备有效
| 申请号： | 201821730530.1 | 申请日： | 2018-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN209338643U | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 杨涛 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京智晨知识产权代理有限公司 11584 | 代理人： | 张婧 |
| 地址： | 100176 北京市北京经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光伏设备领域，公开了一种物理气相沉积PVD设备。本实用新型中，物理气相沉积PVD设备，包括：用于容纳卷材和靶材的容器，容器上开设用于靶材进出容器的第一开口；第一门体，与容器可拆卸连接，封闭或打开第一开口；若干个安装组件，环设于第一门体朝向容器的第一开口的一侧，用于安装靶材；其中，安装在各安装组件上的靶材用于在第一门体封闭第一开口后，进入容器内，并环绕于卷材。与现有技术相比，使得可在设备外部更换靶材，靶材更换更为便利，增大设备内的可操作空间，更换设备内部备件时操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 物理气相沉积 开口 本实用新型 安装组件 卷材 门体 可操作空间 可拆卸连接 靶材更换 更换设备 光伏设备 门体封闭 设备外部 备件 环设 环绕 容纳 封闭 便利 | ||
【主权项】：
1.一种物理气相沉积PVD设备，包括：用于容纳卷材和靶材的容器，其特征在于：所述容器上开设用于所述靶材进出所述容器的第一开口；第一门体，与所述容器可拆卸连接，封闭或打开所述第一开口；若干个安装组件，环设于所述第一门体朝向所述容器的所述第一开口的一侧，用于安装靶材；其中，安装在所述各所述安装组件上的靶材用于在所述第一门体封闭所述第一开口后，进入所述容器内，并环绕于所述卷材。
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