[实用新型]物理气相沉积PVD设备

说明书

本实用新型涉及光伏设备领域，公开了一种物理气相沉积PVD设备。本实用新型中，物理气相沉积PVD设备，包括：用于容纳卷材和靶材的容器，容器上开设用于靶材进出容器的第一开口；第一门体，与容器可拆卸连接，封闭或打开第一开口；若干个安装组件，环设于第一门体朝向容器的第一开口的一侧，用于安装靶材；其中，安装在各安装组件上的靶材用于在第一门体封闭第一开口后，进入容器内，并环绕于卷材。与现有技术相比，使得可在设备外部更换靶材，靶材更换更为便利，增大设备内的可操作空间，更换设备内部备件时操作方便。

技术领域

本实用新型涉及光伏设备领域，特别涉及物理气相沉积PVD设备。

背景技术

现在物理气相沉积PVD设备是用于对太阳能基板上涂覆薄膜的设备，在现有设备中，设备单面开腔，太阳能基板即卷材设置在门上，薄膜即靶材设置在腔体内，通过门密封腔体，再抽真空，让靶材的薄膜喷溅到卷材上，实现太阳能基板的镀膜。但现有的设备中，靶材上的薄膜用完，需要更换靶材时，操作人员需要进入腔体内更换，由于腔体内空间有限，操作人员进入腔体并携带更换设备进入腔体，较为麻烦，操作人员可操作的空间局限，操作不便。且为了让靶材固定到腔体内，需要在腔体内安装各种机构，导致腔体内部结构复杂，以后更换内部备件，同样操作空间较小，操作困难。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种物理气相沉积PVD设备，使得可在设备外部更换靶材，靶材更换更为便利，增大设备内的可操作空间，更换设备内部备件时操作方便。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了一种物理气相沉积PVD设备，包括：用于容纳卷材和靶材的容器，所述容器上开设用于所述靶材进出所述容器的第一开口；

第一门体，与所述容器可拆卸连接，封闭或打开所述第一开口；

若干个安装组件，环设于所述第一门体朝向所述容器的所述第一开口的一侧，用于安装靶材；

其中，安装在所述各所述安装组件上的靶材用于在所述第一门体封闭所述第一开口后，进入所述容器内，并环绕于所述卷材。

本实用新型实施方式相对于现有技术而言，由于容器上设有第一开口、第一门体和若干个安装组件，靶材通过若干个安装组件安装在第一门体上，从而在第一门体打开第一开口时，靶材可随着第一门体经过第一开口出移出容器，进而需要更换靶材可直接在容器外部更换，无需操作人员携带设备进入容器内，在外部更换靶材使得操作人员有足够的操作工件操作，且各操作所需的备件也放在外部，方便操作人员更换靶材。同时，用于靶材的一端设置在安装组件上，安装组件和靶材都可跟随第一本体离开容器，使得容器内部的结构变得简单清晰，从而需要对容器内部其他部件更换时，将安装组件和靶材远离容器，容器内部的可操作空间将会增大，内部其他备件也更为明显。此时，对容器内的其他备件更换时，即使操作人员进入容器内部，操作人员的可操作空间也会增加，使得操作人员操作更为便捷简单。

另外，各所述安装组件包括：

基座，设置在所述第一门体上，用于安装所述靶材；

驱动装置，设置在所述第一门体上并与所述靶材可拆卸连接，驱动所述靶材进行旋转。从而使得靶材实现转动，满足加工需求。

另外，所述基座包括：

第一基板，固设在所述第一门体上；

第二基板，与所述第一基板相对设置；

底板，连接所述第一基板和所述第二基板；

凸轴，可转动地设置在所述第二基板朝向所述第一基板的一侧；

所述驱动装置包括：

转轴，可转动地设置在所述第一基板上；

电机，设置在所述第一基板上，并与所述转轴固定连接，驱动所述转轴进行转动；