[实用新型]物理气相沉积PVD设备

权利要求书

1.一种物理气相沉积PVD设备，包括：用于容纳卷材和靶材的容器，其特征在于：所述容器上开设用于所述靶材进出所述容器的第一开口；

第一门体，与所述容器可拆卸连接，封闭或打开所述第一开口；

若干个安装组件，环设于所述第一门体朝向所述容器的所述第一开口的一侧，用于安装靶材；

其中，安装在所述各所述安装组件上的靶材用于在所述第一门体封闭所述第一开口后，进入所述容器内，并环绕于所述卷材。

2.根据权利要求1所述的物理气相沉积PVD设备，其特征在于，各所述安装组件包括：

基座，设置在所述第一门体上，用于安装所述靶材；

驱动装置，设置在所述第一门体上并与所述靶材可拆卸连接，驱动所述靶材进行旋转。

3.根据权利要求2所述的物理气相沉积PVD设备，其特征在于，所述基座包括：

第一基板，固设在所述第一门体上；

第二基板，与所述第一基板相对设置；

底板，连接所述第一基板和所述第二基板；

凸轴，可转动地设置在所述第二基板朝向所述第一基板的一侧；

所述驱动装置包括：

转轴，可转动地设置在所述第一基板上；

电机，设置在所述第一基板上，并与所述转轴固定连接，驱动所述转轴进行转动；

其中，所述凸轴和所述转轴同轴设置，且分别固定支撑所述靶材的两端。

4.根据权利要求3所述的物理气相沉积PVD设备，其特征在于，所述物理气相沉积PVD设备还包括：

第一门车，与所述第一门体固定连接，带动所述第一门体相对于所述容器的所述第一开口进行直线运动。

5.根据权利要求4所述的物理气相沉积PVD设备，其特征在于：所述物理气相沉积PVD设备还包括：

第一轨道，相对于所述容器的所述第一开口进行设置，所述第一门车可滑动地设置在所述第一轨道上。

6.根据权利要求5所述的物理气相沉积PVD设备，其特征在于：所述物理气相沉积PVD设备还包括：

驱动机构，与所述第一门车固定连接，驱动所述第一门车沿所述第一轨道进行滑动。

7.根据权利要求6所述的物理气相沉积PVD设备，其特征在于：所述物理气相沉积PVD设备还包括：

配重车，与所述第一门体固定连接，可滑动地设置在所述第一轨道上，用于放置配重件。

8.根据权利要求1所述的物理气相沉积PVD设备，其特征在于：所述容器上开设有用于所述卷材进出所述容器的第二开口，所述第二开口与所述第一开口相对设置；

所述物理气相沉积PVD设备还包括：

第二门体，与所述容器可拆卸连接，封闭或打开所述第二开口；

安装架，设置于所述第二门体朝向所述容器的所述第二开口的一侧，用于安装所述卷材。

9.根据权利要求8所述的物理气相沉积PVD设备，其特征在于，所述物理气相沉积PVD设备还包括：

第二门车，与所述第二门体固定连接，带动所述第二门体相对于所述容器的所述第二开口进行直线运动。

10.根据权利要求9所述的物理气相沉积PVD设备，其特征在于：所述物理气相沉积PVD设备还包括：

第二轨道，相对于所述容器的所述第二开口进行设置，所述第二门车可滑动地设置在所述第二轨道上。