[实用新型]一种铌酸锂法腐蚀装置有效
| 申请号： | 201821710688.2 | 申请日： | 2018-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN208980829U | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 华平壤;姜城 | 申请（专利权）人： | 派尼尔科技（天津）有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/30 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理事务所(普通合伙) 11684 | 代理人： | 汪发成 |
| 地址： | 300000 天津市滨海新区经济技*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及腐蚀装置技术领域，公开了一种铌酸锂法腐蚀装置，其包括装置本体、驱动机构、样品放置机构及通风机构，所述装置本体为一壳体，其内设有容纳腔，所述容纳腔分别设置有腐蚀槽及清水槽；所述装置本体上设有取放样门，用于取放基片样品；所述驱动机构与所述样品放置机构固定连接，用于驱动所述样品放置机构在所述容纳腔内水平方向上移动及竖直方向上移动；所述通风机构包括抽风机及通风管道，所述通风管道设于所述装置本体内，并连接所述抽风机；该装置取放基片样品更方便，提高了腐蚀效率，而且腐蚀后的基片样品不需要借助人工去洗去铌酸锂晶体表面的腐蚀液体，减少了工作人员的工作强度。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀装置 基片样品 样品放置 装置本体 容纳腔 驱动机构 通风管道 通风机构 抽风机 铌酸锂 取放 腐蚀 本实用新型 铌酸锂晶体 腐蚀液体 向上移动 腐蚀槽 清水槽 上移动 放样 壳体 竖直 体内 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种铌酸锂法腐蚀装置，其特征在于：所述腐蚀装置包括装置本体(1)、驱动机构(2)、样品放置机构(3)及通风机构(4)，所述装置本体(1)为一壳体，其内设有容纳腔(5)，所述容纳腔(5)分别设置有腐蚀槽(6)及清水槽(7)；所述装置本体(1)上设有取放样门(8)，用于取放基片样品；所述驱动机构(2)与所述样品放置机构(3)固定连接，用于驱动所述样品放置机构(3)在所述容纳腔(5)内水平方向上移动及竖直方向上移动；所述通风机构(4)包括抽风机(401)及通风管道(402)，所述通风管道(402)设于所述装置本体(1)内，并连接所述抽风机(401)。
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