[实用新型]一种铌酸锂法腐蚀装置

权利要求书

1.一种铌酸锂法腐蚀装置，其特征在于：所述腐蚀装置包括装置本体(1)、驱动机构(2)、样品放置机构(3)及通风机构(4)，所述装置本体(1)为一壳体，其内设有容纳腔(5)，所述容纳腔(5)分别设置有腐蚀槽(6)及清水槽(7)；所述装置本体(1)上设有取放样门(8)，用于取放基片样品；

所述驱动机构(2)与所述样品放置机构(3)固定连接，用于驱动所述样品放置机构(3)在所述容纳腔(5)内水平方向上移动及竖直方向上移动；

所述通风机构(4)包括抽风机(401)及通风管道(402)，所述通风管道(402)设于所述装置本体(1)内，并连接所述抽风机(401)。

2.根据权利要求1所述的一种铌酸锂法腐蚀装置，其特征在于，所述驱动机构(2)包括电动推杆(201)、第一电机(202)及第二电机(203)，所述电动推杆(201)固定安装在所述容纳腔(5)内，其输出端连接一活动板(204)；所述活动板(204)面向所述腐蚀槽(6)的一侧开设有凹槽(205)，所述第一电机(202)设于所述凹槽(205)内，且其输出端通过联轴器与一丝杆(206)固定连接；所述丝杆(206)上通过螺纹连接一滑块(207)，所述滑块(207)能够沿所述丝杆(206)长度方向上移动；所述滑块(207)面向所述腐蚀槽(6)的一侧安装有所述第二电机(203)，所述第二电机(203)的输出轴与一搅拌杆(208)固定连接，所述搅拌杆(208)远离所述第二电机(203)的一侧与所述样品放置机构(3)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种铌酸锂法腐蚀装置，其特征在于，所述搅拌杆(208)上设有若干搅拌叶(209)。

4.根据权利要求2或3所述的一种铌酸锂法腐蚀装置，其特征在于，所述样品放置机构(3)包括固定架(31)及锁紧装置(32)，所述固定架(31)包括定位盘(311)及定位杆(312)，所述定位杆(312)一端与所述定位盘(311)固定连接，其另一端与所述搅拌杆(208)固定连接；所述定位杆(312)上设有滑槽(33)；所述锁紧装置(32)包括夹块(321)及夹片(322)，所述夹片(322)与所述夹块(321)固定连接，且所述夹块(321)滑动插接于所述滑槽(33)内，所述滑槽(33)内设有一弹性件(323)，所述弹性件(323)抵持所述夹块(321)。

5.根据权利要求4所述的一种铌酸锂法腐蚀装置，其特征在于，所述定位盘(311)上设有穿孔(3111)。

6.根据权利要求4所述的一种铌酸锂法腐蚀装置，其特征在于，所述腐蚀装置还包括一滤篮(9)，所述滤篮(9)与所述搅拌杆(208)固定连接，所述样品放置机构(3)置于所述滤篮(9)内。

7.根据权利要求1所述的一种铌酸锂法腐蚀装置，其特征在于：所述清水槽(7)内设置有用于清洗基片样品的若干喷淋头(10)。

8.根据权利要求1所述的一种铌酸锂法腐蚀装置，其特征在于：所述装置本体(1)上还设有观察窗(11)，所述观察窗(11)的材质采用透明有机玻璃。