[实用新型]一种铌酸锂法腐蚀装置

说明书

本实用新型涉及腐蚀装置技术领域，公开了一种铌酸锂法腐蚀装置，其包括装置本体、驱动机构、样品放置机构及通风机构，所述装置本体为一壳体，其内设有容纳腔，所述容纳腔分别设置有腐蚀槽及清水槽；所述装置本体上设有取放样门，用于取放基片样品；所述驱动机构与所述样品放置机构固定连接，用于驱动所述样品放置机构在所述容纳腔内水平方向上移动及竖直方向上移动；所述通风机构包括抽风机及通风管道，所述通风管道设于所述装置本体内，并连接所述抽风机；该装置取放基片样品更方便，提高了腐蚀效率，而且腐蚀后的基片样品不需要借助人工去洗去铌酸锂晶体表面的腐蚀液体，减少了工作人员的工作强度。

技术领域

本实用新型涉及腐蚀装置技术领域，具体涉及一种铌酸锂法腐蚀装置。

背景技术

铌酸锂(LiNbO₃)是一种铌、锂和氧的化合物，其晶体具有钙钛矿型结构，在微波技术中用于调Q开关、光电调制、倍频、光参量振荡，掺加一定量的铁和其他金属杂质的铌酸锂基片，为一种具有压电、铁电、电光、非线性光学、热电等多性能材料，在微声技术中用于表面波、体波、换能器元件，还可作全息记录介质材料。

铌酸锂基片制备过程中，常常需要对其进行表面腐蚀处理；目前，在腐蚀处理铌酸锂基片时，大多数装置在腐蚀效率低，取放铌酸锂基片不方便；而且腐蚀后的铌酸锂基片，有时需要借助人工去洗去铌酸锂基片表面的腐蚀液体，增加了工作人员的工作强度。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种铌酸锂法腐蚀装置，该装置取放基片样品更方便，提高了腐蚀效率，而且腐蚀后的基片样品不需要借助人工去洗去铌酸锂晶体表面的腐蚀液体，减少了工作人员的工作强度。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种铌酸锂法腐蚀装置，所述腐蚀装置包括装置本体、驱动机构、样品放置机构及通风机构，所述装置本体为一壳体，其内设有容纳腔，所述容纳腔分别设置有腐蚀槽及清水槽；所述装置本体上设有取放样门，用于取放基片样品；所述驱动机构与所述样品放置机构固定连接，用于驱动所述样品放置机构在所述容纳腔内水平方向上移动及竖直方向上移动；所述通风机构包括抽风机及通风管道，所述通风管道设于所述装置本体内，并连接所述抽风机。

在本实用新型中，优选的，所述驱动机构包括电动推杆、第一电机及第二电机，所述电动推杆固定安装在所述容纳腔内，其输出端连接一活动板；所述活动板面向所述腐蚀槽的一侧开设有凹槽，所述第一电机设于所述凹槽内，且其输出端通过联轴器与一丝杆固定连接；所述丝杆上通过螺纹连接一滑块，所述滑块能够沿所述丝杆长度方向上移动；所述滑块面向所述腐蚀槽的一侧安装有所述第二电机，所述第二电机的输出轴与一搅拌杆固定连接，所述搅拌杆远离所述第二电机的一侧与所述样品放置机构固定连接。

在本实用新型中，优选的，所述搅拌杆上设有若干搅拌叶。

在本实用新型中，优选的，所述样品放置机构包括固定架及锁紧装置，所述固定架包括定位盘及定位杆，所述定位杆一端与所述定位盘固定连接，其另一端与所述搅拌杆固定连接；所述定位杆上设有滑槽；所述锁紧装置包括夹块及夹片，所述夹片与所述夹块固定连接，且所述夹块滑动插接于所述滑槽内，所述滑槽内设有一弹性件，所述弹性件抵持所述夹块。

在本实用新型中，优选的，所述定位盘上设有穿孔。

在本实用新型中，优选的，所述腐蚀装置还包括一滤篮，所述滤篮与所述搅拌杆固定连接，所述样品放置机构置于所述滤篮内。

在本实用新型中，优选的，所述清水槽内设置有用于清洗基片样品的若干喷淋头。

在本实用新型中，优选的，所述装置本体上还设有观察窗，所述观察窗的材质采用透明有机玻璃。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：