[实用新型]一种翻片装置有效
| 申请号： | 201821700274.1 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN208970485U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 雷晶;李志刚;艾辉;徐贵阳;雷合鸿 | 申请（专利权）人： | 武汉帝尔激光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立;陈振玉 |
| 地址： | 430223 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型属于硅片加工技术领域，特别涉及一种翻片装置。本实用新型的翻片装置包括两个固定侧板、两个板状的吸盘和驱动机构；两个所述固定侧板分别竖直设置，并间隔平行分布；两个所述吸盘并列设置在两个所述固定侧板之间的上部，且所述吸盘的两端分别与两个所述固定侧板转动连接；所述驱动机构与所述吸盘传动连接，并可驱动所述吸盘反向翻转。优点：结构设计简单，翻片效率高，利于高效生产。 | ||
| 搜索关键词： | 吸盘 固定侧板 翻片装置 本实用新型 驱动机构 并列设置 传动连接 高效生产 硅片加工 间隔平行 竖直设置 转动连接 翻转 板状 翻片 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种翻片装置，其特征在于：包括两个固定侧板(1)、至少一个板状的吸盘(2)和驱动机构(3)；两个所述固定侧板(1)分别竖直设置，并间隔平行分布；至少一个所述吸盘(2)设置在两个所述固定侧板(1)之间的上部，且所述吸盘(2)的两端分别与两个所述固定侧板(1)转动连接；所述驱动机构(3)与所述吸盘(2)传动连接，并可驱动所述吸盘(2)翻转。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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