[实用新型]一种晶圆片刷洗机

摘要

本实用新型公开了一种晶圆片刷洗机，包括机体，所述机体顶部的左侧开设有清洗槽，所述清洗槽的顶部焊接有环形水管，所述环形水管顶部的左侧固定安装有接水管，所述接水管的一端贯穿机体并延伸至其外，所述环形水管的底部均匀安装有出水头，所述清洗槽的中部活动安装有清洗板，所述清洗板的一端套接有断齿齿轮，所述清洗槽的底部固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端转动连接有转动齿轮。该晶圆片刷洗机，通过设置集刷洗与烘干于一体的机构，能够在刷洗完成后，自动进入烘干程序，无需转运等复杂操作，大大简化了加工流程，同时该刷洗机构采用多角度无死角式清洗，起到了刷洗彻底的目的，大大提高了刷洗效率。

主权项

1.一种晶圆片刷洗机，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)顶部的左侧开设有清洗槽(2)，所述清洗槽(2)的顶部焊接有环形水管(3)，所述环形水管(3)顶部的左侧固定安装有接水管(4)，所述接水管(4)的一端贯穿机体(1)并延伸至其外，所述环形水管(3)的底部均匀安装有出水头(5)，所述清洗槽(2)的中部活动安装有清洗板(6)，所述清洗板(6)的一端套接有断齿齿轮(7)，所述清洗槽(2)的底部固定安装有第一电机(8)，所述第一电机(8)的输出端转动连接有转动齿轮(9)，所述转动齿轮(9)的顶部与断齿齿轮(7)的底部相啮合，所述机体(1)的顶部焊接有基台(10)，所述基台(10)的顶部固定安装有第一伸缩气缸(11)，所述第一伸缩气缸(11)的自由端焊接有顶座(12)，所述顶座(12)的底部固定安装有第二电机(13)，所述第二电机(13)的输出端转动连接有刷毛板(14)，所述刷毛板(14)位于清洗槽(2)的上方，所述机体(1)顶部的右侧开设有烘干槽(18)，所述清洗槽(2)与烘干槽(18)之间开设有斜槽(15)，所述机体(1)的内腔安装有第二伸缩气缸(16)，所述第二伸缩气缸(16)的自由端安装有闭合板(17)，所述闭合板(17)位于斜槽(15)内，所述烘干槽(18)的底部固定安装有烘板(19)，所述烘板(19)上均匀安装有烘干管(20)，所述机体(1)的底部对称焊接有减震底座(21)。