[实用新型]一种晶圆片刷洗机

说明书

本实用新型公开了一种晶圆片刷洗机，包括机体，所述机体顶部的左侧开设有清洗槽，所述清洗槽的顶部焊接有环形水管，所述环形水管顶部的左侧固定安装有接水管，所述接水管的一端贯穿机体并延伸至其外，所述环形水管的底部均匀安装有出水头，所述清洗槽的中部活动安装有清洗板，所述清洗板的一端套接有断齿齿轮，所述清洗槽的底部固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端转动连接有转动齿轮。该晶圆片刷洗机，通过设置集刷洗与烘干于一体的机构，能够在刷洗完成后，自动进入烘干程序，无需转运等复杂操作，大大简化了加工流程，同时该刷洗机构采用多角度无死角式清洗，起到了刷洗彻底的目的，大大提高了刷洗效率。

技术领域

本实用新型涉及晶圆片加工设备技术领域，具体为一种晶圆片刷洗机。

背景技术

晶圆片是制造半导体芯片的基本材料，半导体集成电路最主要的原料是硅，因此对应的就是硅晶圆。

在晶圆片的刷洗工序中，目前大部分采用的是人工刷洗，也有部分采用刷洗设备清洗，现有的刷洗设备，存在刷洗不彻底、工序繁杂的缺陷，因此降低了刷洗效率。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆片刷洗机，解决了现有晶圆片刷洗设备刷洗效率低的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆片刷洗机，包括机体，所述机体顶部的左侧开设有清洗槽，所述清洗槽的顶部焊接有环形水管，所述环形水管顶部的左侧固定安装有接水管，所述接水管的一端贯穿机体并延伸至其外，所述环形水管的底部均匀安装有出水头，所述清洗槽的中部活动安装有清洗板，所述清洗板的一端套接有断齿齿轮，所述清洗槽的底部固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端转动连接有转动齿轮，所述转动齿轮的顶部与断齿齿轮的底部相啮合，所述机体的顶部焊接有基台，所述基台的顶部固定安装有第一伸缩气缸，所述第一伸缩气缸的自由端焊接有顶座，所述顶座的底部固定安装有第二电机，所述第二电机的输出端转动连接有刷毛板，所述刷毛板位于清洗槽的上方，所述机体顶部的右侧开设有烘干槽，所述清洗槽与烘干槽之间开设有斜槽，所述机体的内腔安装有第二伸缩气缸，所述第二伸缩气缸的自由端安装有闭合板，所述闭合板位于斜槽内，所述烘干槽的底部固定安装有烘板，所述烘板上均匀安装有烘干管，所述机体的底部对称焊接有减震底座。

优选的，所述机体的内腔开设有排泄槽，所述排泄槽的底部贯穿机体的底部，所述机体的底部焊接有滑座，所述滑座上滑动安装有盛接盒。

优选的，所述清洗槽的右侧焊接有定位凸台，且定位凸台位于斜槽的底部。

优选的，所述清洗板上开设有漏孔。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种晶圆片刷洗机。具备以下有益效果：