[实用新型]重掺锑单晶高氧含量高寿命热场部件有效

专利信息
申请号: 201821637204.6 申请日: 2018-10-10
公开(公告)号: CN208844225U 公开(公告)日: 2019-05-10
发明(设计)人: 闫龙;王忠保 申请(专利权)人: 宁夏银和半导体科技有限公司
主分类号: C30B15/14 分类号: C30B15/14;C30B29/06
代理公司: 宁夏合天律师事务所 64103 代理人: 孙彦虎
地址: 750021 宁夏回*** 国省代码: 宁夏;64
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种重掺锑单晶高氧含量高寿命热场部件,包括设有上端开口的炉体,盖接在炉体的上端口位置的炉盖,在炉体内安装有主保温毡,在炉体内侧底部安装有底保温毡,在主保温毡内安装有主保温筒,在主保温毡和主保温筒的上端面上可拆卸的安装有保温环,在主保温毡内还可拆卸的安装有底保温筒,底保温筒的下端面与底保温毡接触,底保温筒的上端面与主保温筒的下端面接触,底保温筒的外壁紧贴主保温毡内壁,本实用新型的有益效果在于,通过增加保温环,溶汤液面所处的位置温度提高了,有利于化料坩埚内的氧完全释放,从而进入单晶的氧提高了,通过增加底保温筒,主保温毡下端由于底保温筒的保护,不再裸露,解决了腐蚀问题,提高了热场部件使用寿命。
搜索关键词: 保温毡 保温筒 热场部件 炉体 重掺锑单晶 可拆卸的 主保温筒 保温环 高寿命 下端面 高氧 本实用新型 化料坩埚 上端开口 使用寿命 上端口 上端面 上端 单晶 盖接 炉盖 内壁 汤液 外壁 下端 紧贴 裸露 腐蚀 体内 释放
【主权项】:
1.一种重掺锑单晶高氧含量高寿命热场部件,其特征在于:包括设有上端开口的炉体,盖接在所述炉体的上端口位置的炉盖,所述炉体侧壁具有夹层,夹层内流通有冷却介质,在炉体内安装有主保温毡,主保温毡为中空筒体,主保温毡两端开口,所述主保温毡外壁紧贴炉体内侧壁,在炉体内侧底部安装有底保温毡,主保温毡的下端面紧贴底保温毡上端面,在主保温毡内安装有主保温筒,主保温筒为中空筒体,主保温筒两端开口,主保温筒的外壁紧贴保温毡内壁,主保温筒的下端面与底保温毡不接触,主保温筒的上端面与主保温毡的上端面平齐,在主保温毡和主保温筒的上端面上可拆卸的安装有保温环,保温环为环形体,保温环的下端面紧贴主保温毡和主保温筒的上端面,保温环的外壁紧贴炉体内侧壁,所述保温环顶端端面设有盖板,所述盖板上设有导流筒,导流筒成倒立圆台状,导流筒内腔从上而下逐渐径缩,主保温筒内腔与炉盖内腔通过导流筒内腔连通,在主保温毡内还可拆卸的安装有底保温筒,底保温筒为环形体,底保温筒的下端面与底保温毡接触,底保温筒的上端面与主保温筒的下端面接触,底保温筒的外壁紧贴主保温毡内壁,底保温毡底部中心贯穿有支撑轴,支撑轴上托举有坩埚托盘,所述支撑轴能够带动坩埚托盘在竖直方向上移动,坩埚托盘上安装有化料坩埚,化料坩埚位于导流筒的正下方,化料坩埚的上端面直径大于导流筒的直径,主保温筒与化料坩埚之间安装有侧加热器。
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