[实用新型]重掺锑单晶高氧含量高寿命热场部件有效
申请号: | 201821637204.6 | 申请日: | 2018-10-10 |
公开(公告)号: | CN208844225U | 公开(公告)日: | 2019-05-10 |
发明(设计)人: | 闫龙;王忠保 | 申请(专利权)人: | 宁夏银和半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人: | 孙彦虎 |
地址: | 750021 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种重掺锑单晶高氧含量高寿命热场部件,包括设有上端开口的炉体,盖接在炉体的上端口位置的炉盖,在炉体内安装有主保温毡,在炉体内侧底部安装有底保温毡,在主保温毡内安装有主保温筒,在主保温毡和主保温筒的上端面上可拆卸的安装有保温环,在主保温毡内还可拆卸的安装有底保温筒,底保温筒的下端面与底保温毡接触,底保温筒的上端面与主保温筒的下端面接触,底保温筒的外壁紧贴主保温毡内壁,本实用新型的有益效果在于,通过增加保温环,溶汤液面所处的位置温度提高了,有利于化料坩埚内的氧完全释放,从而进入单晶的氧提高了,通过增加底保温筒,主保温毡下端由于底保温筒的保护,不再裸露,解决了腐蚀问题,提高了热场部件使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 保温毡 保温筒 热场部件 炉体 重掺锑单晶 可拆卸的 主保温筒 保温环 高寿命 下端面 高氧 本实用新型 化料坩埚 上端开口 使用寿命 上端口 上端面 上端 单晶 盖接 炉盖 内壁 汤液 外壁 下端 紧贴 裸露 腐蚀 体内 释放 | ||
【主权项】:
1.一种重掺锑单晶高氧含量高寿命热场部件,其特征在于:包括设有上端开口的炉体,盖接在所述炉体的上端口位置的炉盖,所述炉体侧壁具有夹层,夹层内流通有冷却介质,在炉体内安装有主保温毡,主保温毡为中空筒体,主保温毡两端开口,所述主保温毡外壁紧贴炉体内侧壁,在炉体内侧底部安装有底保温毡,主保温毡的下端面紧贴底保温毡上端面,在主保温毡内安装有主保温筒,主保温筒为中空筒体,主保温筒两端开口,主保温筒的外壁紧贴保温毡内壁,主保温筒的下端面与底保温毡不接触,主保温筒的上端面与主保温毡的上端面平齐,在主保温毡和主保温筒的上端面上可拆卸的安装有保温环,保温环为环形体,保温环的下端面紧贴主保温毡和主保温筒的上端面,保温环的外壁紧贴炉体内侧壁,所述保温环顶端端面设有盖板,所述盖板上设有导流筒,导流筒成倒立圆台状,导流筒内腔从上而下逐渐径缩,主保温筒内腔与炉盖内腔通过导流筒内腔连通,在主保温毡内还可拆卸的安装有底保温筒,底保温筒为环形体,底保温筒的下端面与底保温毡接触,底保温筒的上端面与主保温筒的下端面接触,底保温筒的外壁紧贴主保温毡内壁,底保温毡底部中心贯穿有支撑轴,支撑轴上托举有坩埚托盘,所述支撑轴能够带动坩埚托盘在竖直方向上移动,坩埚托盘上安装有化料坩埚,化料坩埚位于导流筒的正下方,化料坩埚的上端面直径大于导流筒的直径,主保温筒与化料坩埚之间安装有侧加热器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁夏银和半导体科技有限公司,未经宁夏银和半导体科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201821637204.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。