[实用新型]重掺锑单晶高氧含量高寿命热场部件

说明书

一种重掺锑单晶高氧含量高寿命热场部件，包括设有上端开口的炉体，盖接在炉体的上端口位置的炉盖，在炉体内安装有主保温毡，在炉体内侧底部安装有底保温毡，在主保温毡内安装有主保温筒，在主保温毡和主保温筒的上端面上可拆卸的安装有保温环，在主保温毡内还可拆卸的安装有底保温筒，底保温筒的下端面与底保温毡接触，底保温筒的上端面与主保温筒的下端面接触，底保温筒的外壁紧贴主保温毡内壁，本实用新型的有益效果在于，通过增加保温环，溶汤液面所处的位置温度提高了，有利于化料坩埚内的氧完全释放，从而进入单晶的氧提高了，通过增加底保温筒，主保温毡下端由于底保温筒的保护，不再裸露，解决了腐蚀问题，提高了热场部件使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及直拉法生产单晶硅设备技术领域，特别涉及一种重掺锑单晶高氧含量高寿命热场部件。

背景技术

重掺锑单晶会随着锑浓度的增加，硅的熔点下降，温度下降，从而溶解氧的速率下降。参见图1，拉晶时，现有的单晶炉热场结构，导流筒下沿伸入化料坩埚，从而使得化料坩埚内溶汤液面不能高于A位置，这样，溶汤液面距离加热器上端高温区的距离较远，溶汤所处的位置温度较低，化料坩埚内的氧不能完全释放，从而进入单晶的氧降低。此外，现有的单晶炉热场结构，主保温桶下端与底保温毡不接触，主保温毡下端裸露，容易腐蚀，保温效果减弱，不利于长晶，降低了热场部件的使用寿命，而主保温毡整体更换成本高。

发明内容

有鉴于此，针对上述不足，有必要提出一种能提高单晶氧含量寿命高的重掺锑单晶高氧含量高寿命热场部件。

一种重掺锑单晶高氧含量高寿命热场部件，包括设有上端开口的炉体，盖接在所述炉体的上端口位置的炉盖，所述炉体侧壁具有夹层，夹层内流通有冷却介质，在炉体内安装有主保温毡，主保温毡为中空筒体，主保温毡两端开口，所述主保温毡外壁紧贴炉体内侧壁，在炉体内侧底部安装有底保温毡，主保温毡的下端面紧贴底保温毡上端面，在主保温毡内安装有主保温筒，主保温筒为中空筒体，主保温筒两端开口，主保温筒的外壁紧贴保温毡内壁，主保温筒的下端面与底保温毡不接触，主保温筒的上端面与主保温毡的上端面平齐，在主保温毡和主保温筒的上端面上可拆卸的安装有保温环，保温环为环形体，保温环的下端面紧贴主保温毡和主保温筒的上端面，保温环的外壁紧贴炉体内侧壁，所述保温环顶端端面设有盖板，所述盖板上设有导流筒，导流筒成倒立圆台状，导流筒内腔从上而下逐渐径缩，主保温筒内腔与炉盖内腔通过导流筒内腔连通，在主保温毡内还可拆卸的安装有底保温筒，底保温筒为环形体，底保温筒的下端面与底保温毡接触，底保温筒的上端面与主保温筒的下端面接触，底保温筒的外壁紧贴主保温毡内壁，底保温毡底部中心贯穿有支撑轴，支撑轴上托举有坩埚托盘，所述支撑轴能够带动坩埚托盘在竖直方向上移动，坩埚托盘上安装有化料坩埚，化料坩埚位于导流筒的正下方，化料坩埚的上端面直径大于导流筒的直径，主保温筒与化料坩埚之间安装有侧加热器。

优选的，所述保温环的高度为60mm。

优选的，在所述导流筒内侧底端盖合有保温盖，所述保温盖包括吊杆、盖体，所述吊杆、盖体均采用高纯石墨制成，吊杆的上端通过钨制籽晶绳与籽晶夹头固定连接，吊杆的上端与盖体中心可拆卸连接，盖体水平盖合在导流筒内侧底端，盖体的外径小于导流筒下端内壁的直径。

优选的，所述盖体包括顶盖、上盖、下盖，下盖为圆形板，上盖、顶盖均为圆台状，下盖的上端面与上盖的下端面直径相等，上盖的上端面的直径大于顶盖的下端面的直径，吊杆为柱状，顶盖、上盖、下盖的中心位置分别设置有第一安装孔、第二安装孔、第三安装孔，第一安装孔、第二安装孔、第三安装孔分别贯通下盖、上盖、顶盖的上端面和下端面，第一安装孔、第二安装孔、第三安装孔的内径均等于吊杆的外径，顶盖的上端面直径等于第三安装孔的内径，吊杆的下端依次穿过第三安装孔、第二安装孔、第一安装孔，以将顶盖、上盖、下盖固定套装于吊杆上，第三安装孔、第二安装孔、第一安装孔的内环壁均与吊杆的外环壁密封连接。

优选的，所述下盖的上端面与上盖的下端面不接触，以在下盖和上盖之间形成环形空隙。