[实用新型]门体组件联动结构和原子沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种门体组件联动结构和原子沉积装置。门体组件联动结构用于和原子沉积装置中的双层加热腔室配合，包括安装台和门体组件，安装台上设置有滑轨和驱动电机，驱动电机通过丝杠带动门体组件在滑轨上运动。安装台靠近双层加热腔室位置设置有滚轮组件和顶升板，顶升板比滚轮组件距离双层加热腔室更近。本实用新型实施方式中的门体组件联动结构中，顶升板和滚轮组件顶起载舟板，避免满载的载舟板因承重发生形变而与双层加热腔室难以对接的情况，同时，滚轮组件能协助门体组件更顺畅地进入到双层加热腔室内部。

主权项

1.一种门体组件联动结构，用于和原子沉积装置中的双层加热腔室配合，其特征在于，包括安装台和门体组件，所述安装台上设置有滑轨和驱动电机，所述驱动电机通过丝杠带动所述门体组件在所述滑轨上运动，所述安装台靠近所述双层加热腔室位置设置有滚轮组件和顶升板，所述顶升板比所述滚轮组件距离所述双层加热腔室更近。