[实用新型]用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相冷却器有效
| 申请号： | 201821618121.2 | 申请日： | 2018-10-03 |
| 公开（公告）号： | CN209317654U | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 郑小勇 | 申请（专利权）人： | 张家港衡德新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/08 | 分类号： | B01J19/08;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) 32304 | 代理人： | 汤婷 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家港市锦*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相冷却器，包括冷却腔，所述冷却腔同轴密封连接于反应腔尾端，所述冷却腔顶部设置有热交换器，所述热交换器包括排列设置成环形的多个冷却水腔以及连通该多个冷却水腔的冷却液管路，所述冷却腔包括同轴密封设置的柱形冷却腔与锥形冷却腔，所述柱形冷却腔密封连接于所述反应腔尾端，所述柱形冷却腔内设置有冷却腔清理环，所述冷却腔清理环直径略小于所述柱形冷却腔直径，所述冷却腔清理环清理所述柱形冷却腔内壁。本实用新型的优点在于结构简单，操作方便，成本低廉，且制备的纳米材料纯度较高、稳定性好、形貌粒径均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却腔 柱形 纳米材料 气态前驱体 等离子气 冷却水腔 热交换器 同轴密封 反应腔 冷却器 尾端 形貌 本实用新型 冷却液管路 顶部设置 粒径均匀 密封连接 排列设置 连通 内壁 制备 生产 申请 | ||
【主权项】：
1.一种用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相冷却器，其特征在于，包括冷却腔，所述冷却腔同轴密封连接于反应腔尾端，所述冷却腔顶部设置有热交换器，所述热交换器包括排列设置成环形的多个冷却水腔以及连通该多个冷却水腔的冷却液管路，所述冷却腔包括同轴密封设置的柱形冷却腔与锥形冷却腔，所述柱形冷却腔密封连接于所述反应腔尾端，所述柱形冷却腔内设置有冷却腔清理环，所述冷却腔清理环直径略小于所述柱形冷却腔直径，所述冷却腔清理环清理所述柱形冷却腔内壁。
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