[实用新型]用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相冷却器有效
| 申请号： | 201821618121.2 | 申请日： | 2018-10-03 |
| 公开（公告）号： | CN209317654U | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 郑小勇 | 申请（专利权）人： | 张家港衡德新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/08 | 分类号： | B01J19/08;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) 32304 | 代理人： | 汤婷 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家港市锦*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 冷却腔 柱形 纳米材料 气态前驱体 等离子气 冷却水腔 热交换器 同轴密封 反应腔 冷却器 尾端 形貌 本实用新型 冷却液管路 顶部设置 粒径均匀 密封连接 排列设置 连通 内壁 制备 生产 申请 | ||
1.一种用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相冷却器，其特征在于，包括冷却腔，所述冷却腔同轴密封连接于反应腔尾端，所述冷却腔顶部设置有热交换器，所述热交换器包括排列设置成环形的多个冷却水腔以及连通该多个冷却水腔的冷却液管路，所述冷却腔包括同轴密封设置的柱形冷却腔与锥形冷却腔，所述柱形冷却腔密封连接于所述反应腔尾端，所述柱形冷却腔内设置有冷却腔清理环，所述冷却腔清理环直径略小于所述柱形冷却腔直径，所述冷却腔清理环清理所述柱形冷却腔内壁。
2.根据权利要求1所述的用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相冷却器，其特征在于，所述冷却腔清理环上下相对设置有两个，所述冷却腔清理环通过相对设置的两伸缩杆驱动，所述伸缩杆密封穿透所述锥形冷却腔侧壁。
3.根据权利要求1所述的用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相冷却器，其特征在于，所述冷却水腔截面为梯形，所述梯形短边靠近所述冷却腔轴心。
4.根据权利要求1所述的用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相冷却器，其特征在于，成环形的多个所述冷却水腔中间形成有供反应腔清理环移动的移动空间。
5.根据权利要求1所述的用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相冷却器，其特征在于，所述冷却腔侧壁为第二双层管壁，所述第二双层管壁底部与顶部侧面分别形成有第二双层管壁进液口与第二双层管壁出液口，所述第二双层管壁之间流通有冷却液。
6.根据权利要求5所述的用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相冷却器，其特征在于，所述冷却液管路连通于所述第二双层管壁内部。
7.根据权利要求5所述的用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相冷却器，其特征在于，所述冷却腔顶部与底部分别通过第二连接法兰密封连接于所述反应腔与粉末收集系统，所述第二双层管壁进液口与第二双层管壁出液口分别设置于所述第二连接法兰侧壁。
8.根据权利要求1所述的用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相冷却器，其特征在于，所述冷却腔侧壁从上至下设置有至少一个热偶，用于监测所述冷却腔内部温度。
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