[实用新型]一种镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种镀膜机，用以解决现有技术在镀膜过程中存在由于不断打开腔室补充镀膜材料而造成腔室污染和器材损耗的问题。本实用新型中，镀膜机的真空腔中设置有自动填料装置，在进行镀膜操作时，在进行镀膜操作时，储料装置在第一驱动装置的驱动下，按照设定的时间间隔将存储的镀膜材料一份一份的下放，然后传送装置在接取到储料装置下放的镀膜材料后，在自身的第二驱动装置作用下，将该镀膜材料传送并装填到坩埚中，如此在镀膜过程中，不再需要频繁打开真空腔为坩埚添加镀膜材料，减少了开腔的次数，因而可以减少腔室污染，降低镀膜机的机械损耗，同时增加了生产周期时长。

主权项

1.一种镀膜机，其特征在于，包括：真空腔、设置于所述真空腔内的镀膜机自动填料装置以及设置于所述真空腔内的坩埚，所述镀膜机自动填料装置包括：安装于所述真空腔内、且具有下料工位的储料装置，所述储料装置具有多个储料单元和用于控制所述储料单元开关的控制机构，每一个所述储料单元用于存储一份对应于坩埚的镀膜材料，且所述储料装置可相对于传送装置动作以使每一个所述储料单元可移动至所述下料工位，且所述控制机构用于控制处于下料工位的储料单元处于打开状态以将镀膜材料下放；安装于所述真空腔内、且可相对于所述坩埚以及储料装置动作的传送装置，所述传送装置动作时用于将处于下料工位的储料单元下放的镀膜材料传送给所述坩埚；用于驱动储料装置动作的第一驱动装置；用于驱动传送装置动作的第二驱动装置。