[实用新型]一种通用多面体溅射镀膜装置有效
| 申请号： | 201821563855.5 | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN208883985U | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 余海春;王德智;戴秀海;马淑莹 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 徐小蓉 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及薄膜制备技术领域，尤其涉及一种通用多面体溅射镀膜装置，其特征在于：所述基板装载板的外侧表面呈多面体状，包括若干承载面，若干所述承载面均竖直布置且每个所述承载面的大小满足于可承载所述基板的要求。本实用新型的优点是：可保证镀膜的膜厚一致性，提高镀膜质量；在圆筒形旋转工件架尺寸一定的条件下，可承载更多的基板，从而提高产量效能；结构简单、合理，适应性强，可根据不同尺寸的基板进行相应设计，拆换方便，适于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 溅射镀膜装置 本实用新型 承载 承载面 多面体 镀膜 薄膜制备技术 旋转工件架 多面体状 基板装载 竖直布置 外侧表面 通用 圆筒形 拆换 膜厚 保证 | ||
【主权项】：
1.一种通用多面体溅射镀膜装置，包括圆筒形旋转工件架以及竖直贴放在其侧壁外侧的基板装载板，所述基板装载板用于承载基板，其特征在于：所述基板装载板的外侧表面呈多面体状，包括若干承载面，若干所述承载面均竖直布置且每个所述承载面的大小满足于可承载所述基板的要求。
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