[实用新型]承载盘组件及机械手臂

摘要

该实用新型涉及一种承载盘组件及机械手臂，其中承载盘组件包括承载盘和限位部，且承载盘表面具有一晶圆放置位，用于放置晶圆；限位部设置于晶圆放置位下方，包括设置于同一平面上的至少三个限位元件，以对晶圆进行限位调整；限位元件具有至少三个朝向晶圆放置位的倾斜面，且所述倾斜面的底部位于同一圆周上，且圆周的中心轴与晶圆放置位的中心轴重叠；倾斜面中部具有位于第一圆周上的一点，且第一圆周的直径与待放置的晶圆的直径相同。本实用新型可通过第一圆周与晶圆放置位的位置关系调整晶圆的位置偏移。

主权项

1.一种承载盘组件，其特征在于，包括：承载盘和限位部，其中，所述承载盘表面具有一晶圆放置位，用于放置晶圆；所述限位部设置于所述承载盘下方，包括设置于同一平面上的至少三个限位元件，用于对放置到所述晶圆放置位的晶圆进行限位调整；所述限位元件朝向晶圆放置位的一侧具有一倾斜面，所述倾斜面向晶圆放置位外侧倾斜，所述至少三个限位元件的倾斜面的底部位于同一圆周上，且所述圆周的中心轴与所述晶圆放置位的中心轴重叠；各个限位元件的倾斜面中部具有至少一点位于第一圆周上，且所述第一圆周的直径与所述承载盘上放置的晶圆的直径相同。