[实用新型]一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器

摘要

本实用新型涉及半导体加工技术领域。一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器，包括砂浆过滤器，砂浆过滤器包括罐体以及顶盖，罐体的上方开设有进料口，罐体的底部开设有出料口，罐体内安装有过滤机构，过滤机构包括圆环状支撑板、尼龙滤网以及金属滤网，尼龙滤网与金属滤网的上端均与支撑板相连；砂浆过滤器还包括安装机构，安装机构包括弹簧、压杆，弹簧的下端与支撑板的中央相连；弹簧的上端连接有压杆，罐体的内壁的相对侧设有插接件，插接件上开设有与压杆端部相匹配的插口。本专利通过优化砂浆过滤器的结构，便于实现过滤机构的可拆卸。

主权项

1.一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器，包括一砂浆过滤器，所述砂浆过滤器包括上方开口的罐体以及顶盖围成的过滤腔，所述罐体的上方开设有一进料口，所述罐体的底部开设有一出料口，所述罐体内安装有一过滤机构，所述过滤机构设置在所述进料口与所述出料口之间，其特征在于，所述过滤机构包括支撑板、尼龙滤网以及设置在尼龙滤网外围金属滤网；所述支撑板上开设有开口，以所述支撑板的开口为过滤机构的进口，所述支撑板的外围与所述罐体的内壁之间设有一密封结构，所述尼龙滤网与所述金属滤网的上端均与支撑板相连；所述砂浆过滤器还包括一安装机构，所述安装机构包括弹簧以及压杆，所述弹簧的下端与所述支撑板的中央相连；所述弹簧的上端连接有所述压杆，所述罐体的内壁的相对侧设有一用于插入压杆两端的插接件，所述插接件上开设有与所述压杆端部相匹配的插口。