[实用新型]一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器有效
申请号: | 201821545538.0 | 申请日: | 2018-09-21 |
公开(公告)号: | CN209033881U | 公开(公告)日: | 2019-06-28 |
发明(设计)人: | 卢运增;贺贤汉;吉远君 | 申请(专利权)人: | 上海申和热磁电子有限公司;杭州中芯晶圆半导体股份有限公司 |
主分类号: | B01D29/35 | 分类号: | B01D29/35;B01D29/58 |
代理公司: | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人: | 顾兰芳 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 过滤器 砂浆 罐体 过滤机构 支撑板 弹簧 线切割加工过程 安装机构 金属滤网 尼龙滤网 插接件 断线率 上端 半导体加工技术 本实用新型 插口 压杆端部 顶盖 出料口 进料口 可拆卸 圆环状 内壁 下端 压杆 有压 匹配 体内 优化 | ||
1.一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器,包括一砂浆过滤器,所述砂浆过滤器包括上方开口的罐体以及顶盖围成的过滤腔,所述罐体的上方开设有一进料口,所述罐体的底部开设有一出料口,所述罐体内安装有一过滤机构,所述过滤机构设置在所述进料口与所述出料口之间,其特征在于,所述过滤机构包括支撑板、尼龙滤网以及设置在尼龙滤网外围金属滤网;所述支撑板上开设有开口,以所述支撑板的开口为过滤机构的进口,所述支撑板的外围与所述罐体的内壁之间设有一密封结构,所述尼龙滤网与所述金属滤网的上端均与支撑板相连;
所述砂浆过滤器还包括一安装机构,所述安装机构包括弹簧以及压杆,所述弹簧的下端与所述支撑板的中央相连;
所述弹簧的上端连接有所述压杆,所述罐体的内壁的相对侧设有一用于插入压杆两端的插接件,所述插接件上开设有与所述压杆端部相匹配的插口。
2.根据权利要求1所述的一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器,其特征在于:所述密封结构包括一限制过滤机构下移的限位突起,所述限位突起设置在所述罐体的内壁,所述限位突起的上端与所述支撑板的下表面相抵;
所述密封结构还包括一密封圈,所述密封圈设置在所述限位突起的上方。
3.根据权利要求1所述的一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器,其特征在于:所述尼龙滤网为上端开口的袋状结构,所述尼龙滤网的开口端固定有一弹性圈体,所述支撑板的内侧设有用于套入弹性圈体的翻边;
所述金属滤网为上端开口的金属罩体,所述金属罩体上开设有网孔,所述金属罩体的上端与所述支撑板焊接相连。
4.根据权利要求3所述的一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器,其特征在于:所述顶盖上安装有一用于检测过滤腔内的气压的气压检测装置。
5.根据权利要求1所述的一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器,其特征在于:所述顶盖上还开设有一进气口,所述进气口安装有一阀门。
6.根据权利要求1所述的一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器,其特征在于:所述罐体的外壁上固定有支撑脚。
7.根据权利要求1所述的一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器,其特征在于:所述砂浆过滤器的出料口与切片室的砂浆进口导通。
8.根据权利要求1所述的一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器,其特征在于:所述罐体的外围安装有一夹套式换热器。
9.根据权利要求1所述的一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器,其特征在于:所述弹簧的断面为矩形。
10.根据权利要求1所述的一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器,其特征在于:所述支撑板包括一环状体以及条状的连接片,所述连接片的两端分别与环状体的径向两端部固定连接,以连接片与环状体之间的间隙为支撑板上的开口。
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