[实用新型]一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器有效

专利信息
申请号: 201821545538.0 申请日: 2018-09-21
公开(公告)号: CN209033881U 公开(公告)日: 2019-06-28
发明(设计)人: 卢运增;贺贤汉;吉远君 申请(专利权)人: 上海申和热磁电子有限公司;杭州中芯晶圆半导体股份有限公司
主分类号: B01D29/35 分类号: B01D29/35;B01D29/58
代理公司: 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 代理人: 顾兰芳
地址: 200444 上海市宝*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 过滤器 砂浆 罐体 过滤机构 支撑板 弹簧 线切割加工过程 安装机构 金属滤网 尼龙滤网 插接件 断线率 上端 半导体加工技术 本实用新型 插口 压杆端部 顶盖 出料口 进料口 可拆卸 圆环状 内壁 下端 压杆 有压 匹配 体内 优化
【权利要求书】:

1.一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器,包括一砂浆过滤器,所述砂浆过滤器包括上方开口的罐体以及顶盖围成的过滤腔,所述罐体的上方开设有一进料口,所述罐体的底部开设有一出料口,所述罐体内安装有一过滤机构,所述过滤机构设置在所述进料口与所述出料口之间,其特征在于,所述过滤机构包括支撑板、尼龙滤网以及设置在尼龙滤网外围金属滤网;所述支撑板上开设有开口,以所述支撑板的开口为过滤机构的进口,所述支撑板的外围与所述罐体的内壁之间设有一密封结构,所述尼龙滤网与所述金属滤网的上端均与支撑板相连;

所述砂浆过滤器还包括一安装机构,所述安装机构包括弹簧以及压杆,所述弹簧的下端与所述支撑板的中央相连;

所述弹簧的上端连接有所述压杆,所述罐体的内壁的相对侧设有一用于插入压杆两端的插接件,所述插接件上开设有与所述压杆端部相匹配的插口。

2.根据权利要求1所述的一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器,其特征在于:所述密封结构包括一限制过滤机构下移的限位突起,所述限位突起设置在所述罐体的内壁,所述限位突起的上端与所述支撑板的下表面相抵;

所述密封结构还包括一密封圈,所述密封圈设置在所述限位突起的上方。

3.根据权利要求1所述的一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器,其特征在于:所述尼龙滤网为上端开口的袋状结构,所述尼龙滤网的开口端固定有一弹性圈体,所述支撑板的内侧设有用于套入弹性圈体的翻边;

所述金属滤网为上端开口的金属罩体,所述金属罩体上开设有网孔,所述金属罩体的上端与所述支撑板焊接相连。

4.根据权利要求3所述的一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器,其特征在于:所述顶盖上安装有一用于检测过滤腔内的气压的气压检测装置。

5.根据权利要求1所述的一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器,其特征在于:所述顶盖上还开设有一进气口,所述进气口安装有一阀门。

6.根据权利要求1所述的一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器,其特征在于:所述罐体的外壁上固定有支撑脚。

7.根据权利要求1所述的一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器,其特征在于:所述砂浆过滤器的出料口与切片室的砂浆进口导通。

8.根据权利要求1所述的一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器,其特征在于:所述罐体的外围安装有一夹套式换热器。

9.根据权利要求1所述的一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器,其特征在于:所述弹簧的断面为矩形。

10.根据权利要求1所述的一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器,其特征在于:所述支撑板包括一环状体以及条状的连接片,所述连接片的两端分别与环状体的径向两端部固定连接,以连接片与环状体之间的间隙为支撑板上的开口。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海申和热磁电子有限公司;杭州中芯晶圆半导体股份有限公司,未经上海申和热磁电子有限公司;杭州中芯晶圆半导体股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821545538.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top