[实用新型]一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器

说明书

本实用新型涉及半导体加工技术领域。一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器，包括砂浆过滤器，砂浆过滤器包括罐体以及顶盖，罐体的上方开设有进料口，罐体的底部开设有出料口，罐体内安装有过滤机构，过滤机构包括圆环状支撑板、尼龙滤网以及金属滤网，尼龙滤网与金属滤网的上端均与支撑板相连；砂浆过滤器还包括安装机构，安装机构包括弹簧、压杆，弹簧的下端与支撑板的中央相连；弹簧的上端连接有压杆，罐体的内壁的相对侧设有插接件，插接件上开设有与压杆端部相匹配的插口。本专利通过优化砂浆过滤器的结构，便于实现过滤机构的可拆卸。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体涉及砂浆过滤器。

背景技术

砂浆过滤器是用于进行砂浆过滤的装置。

砂浆是由切削液和GC粉按一定比例调和而成，因考虑到成本问题，所以目前业内砂浆液都是循环利用的，经过砂浆回收系统后将有用的砥砺回收，重复利用，这个过程中因切割晶棒会有不同大小的Si粉、杂质、大颗粒等会进入到砂浆回收系统中，影响了砂浆的切削能力，会造成以下几方面的影响与风险：砂浆中存有大颗粒容易造成断线，影响硅片面状态，造成良率，且容易导致降低了砂浆的切削能力，容易造成翘曲、线痕。

目前通过砂浆过滤器的过滤效果对砂浆过滤从而保证切割效果，现有的砂浆过滤器内的过滤机构的安装机构操作不便，不便于对过滤机构的更换以及维修，不利于保证生产效率。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器，以解决上述至少一个技术问题。

2、本实用新型的技术方案是：一种降低线切割加工过程断线率的砂浆过滤器，包括一砂浆过滤器，所述砂浆过滤器包括上方开口的罐体以及顶盖围成的过滤腔，所述罐体的上方开设有一进料口，所述罐体的底部开设有一出料口，所述罐体内安装有一过滤机构，所述过滤机构设置在所述进料口与所述出料口之间，其特征在于，所述过滤机构包括支撑板、尼龙滤网以及设置在尼龙滤网外围金属滤网；所述支撑板上开设有开口，以所述支撑板的开口为过滤机构的进口，所述支撑板的外围与所述罐体的内壁之间设有一密封结构，所述尼龙滤网与所述金属滤网的上端均与支撑板相连；

所述砂浆过滤器还包括一安装机构，所述安装机构包括弹簧以及压杆，所述弹簧的下端与所述支撑板的中央相连；

所述弹簧的上端连接有所述压杆，所述罐体的内壁的相对侧设有一用于插入压杆两端的插接件，所述插接件上开设有与所述压杆端部相匹配的插口。

本专利通过优化砂浆过滤器的结构，便于实现过滤机构的可拆卸，便于保证过滤效果，砂浆经进料口后依次途径尼龙滤网与金属滤网后从出料口导出。针对于不同的过滤需求，更换不同的过滤机构。进而降低线切割加工过程断线率，保证切割效果。压杆从下至上插入插口。

过滤机构的安装步骤为首先将过滤机构放入罐体内，然后通过压杆下压弹簧，并将压杆的两端插入插接件上，实现压杆的固定，进而实现过滤机构的固定。

过滤机构的拆除步骤为首先通过旋转压杆，进而实现压杆从插接件上脱离，然后将过滤机构从罐体中拉出。

所述支撑板包括一环状体以及条状的连接片，所述连接片的两端分别与环状体的径向两端部固定连接，以连接片与环状体之间的间隙为支撑板上的开口。

所述密封结构包括一限制过滤机构下移的限位突起，所述限位突起设置在所述罐体的内壁，所述限位突起的上端与所述支撑板的下表面相抵；

所述密封结构还包括一密封圈，所述密封圈设置在所述限位突起的上方。

通过密封结构，防止砂浆从支撑板与所述罐体内壁之间流出。

所述尼龙滤网为上端开口的袋状结构，所述尼龙滤网的开口端固定有一弹性圈体，所述支撑板的内侧设有用于套入弹性圈体的翻边；