[实用新型]一种控制单晶炉炉室压力用的比例阀阀板有效

专利信息
申请号: 201821468584.5 申请日: 2018-09-10
公开(公告)号: CN208935424U 公开(公告)日: 2019-06-04
发明(设计)人: 王峥 申请(专利权)人: 麦斯克电子材料有限公司
主分类号: F16K3/02 分类号: F16K3/02;F16K3/314
代理公司: 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 代理人: 逯雪峰
地址: 471000 河南省洛阳*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型的比例阀阀板包括均相配合的比例阀、阀板和阀套,阀板包括相互连接的中间部分、第一弧形部分和第二弧形部分,第一弧形部分、第二弧形部分对称连接在中间部分的边缘且二者相互对接,第一弧形部分、第二弧形部分相互平行且二者边缘连接成与中间部分同心的光滑的弧形结构,位于阀板与阀套之间的间隙在第一弧形部分、第二弧形部分的边缘沿圆周方向设有若干个上下交错分布的刀刃,刀刃与第一弧形部分、第二弧形部分的夹角均为α,刀刃的角度均为β,位于刀刃的下方在第一弧形部分、第二弧形部分上分别设有若干个呈阶梯状排布的凹槽,轻松有效地去除、收集、处理阀套内壁凝固的挥发物,不影响设备运行。
搜索关键词: 阀板 刀刃 比例阀 阀套 挥发物 阶梯状排布 沿圆周方向 边缘连接 部分对称 阀套内壁 弧形结构 炉室压力 上下交错 影响设备 单晶炉 同心的 有效地 光滑 去除 平行 凝固 配合
【主权项】:
1.一种控制单晶炉炉室压力用的比例阀阀板,包括均相配合的比例阀、阀板(1)和阀套,所述比例阀设有安装轴,其特征在于:所述阀板(1)上沿最大直径方向贯穿设有一个与安装轴相配合的安装槽(2),阀板(1)与阀套间隙设置,阀套内壁上凝聚有挥发物,所述阀板(1)包括相互连接的中间部分(101)、第一弧形部分(102)和第二弧形部分(103),第一弧形部分(102)、第二弧形部分(103)对称连接在中间部分(101)的边缘且二者相互对接,第一弧形部分(102)、第二弧形部分(103)相互平行且二者边缘连接成与中间部分(101)同心的光滑的弧形结构,位于阀板(1)与阀套之间的间隙在第一弧形部分(102)、第二弧形部分(103)的边缘沿圆周方向设有若干个上下交错分布的刀刃(3),所述刀刃(3)与第一弧形部分(102)、第二弧形部分(103)的夹角均为α,刀刃(3)的角度均为β,位于刀刃(3)的下方在第一弧形部分(102)、第二弧形部分(103)上分别设有若干个呈阶梯状排布的凹槽(4)。
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