[实用新型]一种控制单晶炉炉室压力用的比例阀阀板有效

专利信息
申请号: 201821468584.5 申请日: 2018-09-10
公开(公告)号: CN208935424U 公开(公告)日: 2019-06-04
发明(设计)人: 王峥 申请(专利权)人: 麦斯克电子材料有限公司
主分类号: F16K3/02 分类号: F16K3/02;F16K3/314
代理公司: 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 代理人: 逯雪峰
地址: 471000 河南省洛阳*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 阀板 刀刃 比例阀 阀套 挥发物 阶梯状排布 沿圆周方向 边缘连接 部分对称 阀套内壁 弧形结构 炉室压力 上下交错 影响设备 单晶炉 同心的 有效地 光滑 去除 平行 凝固 配合
【权利要求书】:

1.一种控制单晶炉炉室压力用的比例阀阀板,包括均相配合的比例阀、阀板(1)和阀套,所述比例阀设有安装轴,其特征在于:所述阀板(1)上沿最大直径方向贯穿设有一个与安装轴相配合的安装槽(2),阀板(1)与阀套间隙设置,阀套内壁上凝聚有挥发物,所述阀板(1)包括相互连接的中间部分(101)、第一弧形部分(102)和第二弧形部分(103),第一弧形部分(102)、第二弧形部分(103)对称连接在中间部分(101)的边缘且二者相互对接,第一弧形部分(102)、第二弧形部分(103)相互平行且二者边缘连接成与中间部分(101)同心的光滑的弧形结构,位于阀板(1)与阀套之间的间隙在第一弧形部分(102)、第二弧形部分(103)的边缘沿圆周方向设有若干个上下交错分布的刀刃(3),所述刀刃(3)与第一弧形部分(102)、第二弧形部分(103)的夹角均为α,刀刃(3)的角度均为β,位于刀刃(3)的下方在第一弧形部分(102)、第二弧形部分(103)上分别设有若干个呈阶梯状排布的凹槽(4)。

2.根据权利要求1所述的一种控制单晶炉炉室压力用的比例阀阀板,其特征在于:所述凹槽(4)内可拆卸设有储杂箱,所述储杂箱采用轻质材料制成。

3.根据权利要求1所述的一种控制单晶炉炉室压力用的比例阀阀板,其特征在于:所述中间部分(101)为圆形结构,第一弧形部分(102)、第二弧形部分(103)的边缘连接成与中间部分(101)同心的光滑的圆弧状结构。

4.根据权利要求1所述的一种控制单晶炉炉室压力用的比例阀阀板,其特征在于:所述第一弧形部分(102)、第二弧形部分(103)为形状相同、弯折方向相反的弧形结构。

5.根据权利要求1所述的一种控制单晶炉炉室压力用的比例阀阀板,其特征在于:所述夹角α为95°。

6.根据权利要求1所述的一种控制单晶炉炉室压力用的比例阀阀板,其特征在于:所述夹角β为12°。

7.根据权利要求1所述的一种控制单晶炉炉室压力用的比例阀阀板,其特征在于:所述阀板(1)采用韧性强度高的合金工具钢制成。

8.根据权利要求1所述的一种控制单晶炉炉室压力用的比例阀阀板,其特征在于:所述阀板(1)的安装槽(2)内对称两个设有用于固定阀板(1)于安装轴上的螺丝孔(5)。

9.根据权利要求1所述的一种控制单晶炉炉室压力用的比例阀阀板,其特征在于:所述刀刃(3)的个数为2个。

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